当前位置：合肥真萍电子科技有限公司>>半导体工艺设备>>单管全自动立式炉（PI Cuer,退火，合金）

单管全自动立式炉（PI Cuer,退火，合金）

参考价

面议

具体成交价以合同协议为准

产品型号

品牌

厂商性质其他

所在地合肥市

在线询价收藏产品查看联系电话

纺织服装机械网采购部电话：0571-88918531QQ:2568841715

联系方式：查看联系方式

更新时间：2024-12-16 10:25:50浏览次数：86次

联系我时，请告知来自纺织服装机械网

暂无信息

合肥真萍电子科技有限公司

经营模式：其他

商铺产品：28条

所在地区：

联系人：张经理

询价 给他留言

产品简介

产品用途：集成电路圆片胶， BPO胶/PI胶/BCB胶固化，IC晶圆、CMOS、Bumping、TSV、 MEMS、指纹识别；集成电路圆片快速退火。

详细介绍

产品特点：

1.一体式人机操作系统，连续式自动化生产，工作效率高，节约人工成本、电能及工艺时间；

2.FEC加热，升温迅速且均匀度好；

3.优质不锈钢材质，表面经物理及化学抛光处理，确保洁净度；

4.自带自清洁功能——高温清洁。

技术参数：

型号		TASF3075D107-N0	TASF3075D207-N0		TASF3075D407-N0
处理产品		8/12inch 晶圆	处理量		100/75PCS/管
加热器		圆形FEC加热板
上料口		4个	机械手		1
温度范围		长期使用温度: 350℃，温度：750℃
升温速率		＜8℃/min		降温速率	＜7℃/min
加热功率		30kW(单炉)*2		加热温区	3个*2
炉温均匀性		±2℃（350℃恒温）		控温热偶	K分度
温度控制方式		SSR		程序控制	P.I.D控制
炉膛材料		石英		保温材料	陶瓷纤维
气氛控制	多路流量计调节进气流量计量程： 1）0-150L/min 氮气 2）0-40L/min 氧气				气氛	N2/O2
排气系统	在顶部设置排气烟囱，用于废气排放,回收