合肥真萍电子科技有限公司
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产品用途： 本产品主要面向SIC功率器件制造领域，在氮气氛围中对SIC/PI复合薄膜进行600-1050℃的碳化处理，在碳化过程中，SIC纳米粒子与PI作用形成化学键合，使其耐热性得到提高。
产品特点：
1.一体式人机操作系统，连续式自动化生产，工作效率高，节约人工成本、电能及工艺时间；
2.FEC加热，升温迅速且均匀度好；
3.优质不锈钢材质，表面经物理及化学抛光处理，确保洁净度；
4.自带自清洁功能——高温清洁。
技术参数：
型号 | TASS15100D112-N0 | TASS20100D112-N0 | |||||
处理产品 | 6/8inch 晶圆 | 处理量 | 100PCS/管 | ||||
加热器 | 圆形FEC加热板 | ||||||
上料口 | 2个 | 机械手 | 1 | ||||
温度范围 | 长期使用温度: 950℃，温度：1200℃ | ||||||
升温速率 | ＜8℃/min | 降温速率 | ＜7℃/min | ||||
加热功率 | 30kW(单炉) | 加热温区 | 3个 | ||||
炉温均匀性 | ±2℃（950℃恒温） | 控温热偶 | K分度 | ||||
温度控制方式 | SSR | 程序控制 | P.I.D控制 | ||||
炉膛材料 | 石英 | 保温材料 | 陶瓷纤维 | ||||
气氛控制 | 多路流量计调节进气 流量计量程： 1）0-150L/min 氮气 2）0-40L/min 氧气 | 气氛 | N2/O2 | ||||
排气系统 | 在顶部设置排气烟囱，用于废气排放,回收 | ||||||
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