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IoN 40等离子清洗机

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更新时间：2023-08-08 14:21:28浏览次数：87次

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普发拓普真空设备（北京）有限公司

经营模式：其他

商铺产品：2条

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产品简介

IoN 40等离子清洗机是为实验室和生产领域涉及的全功能的等离子表面处理设备。该设备外观简洁、高度集成化，可应用在半导体、医疗诊断、光学、电子等领域对各种材料的表面进行去胶、清洁、化学修饰或涂层沉积。

详细介绍

功能特性：
● 灵活的电极设计保证了工艺的均匀性
● 使用Windows系统的工业计算机控制
● 触摸屏操作，图形用户界面（GUI）
● 菜单驱动式工艺过程
● 绘图和自诊断功能
● 以太网通讯功能
● 节能模式
● 工艺编辑软件提供了快速灵活的步骤控制功能
● 安装简单快捷

规格参数
工作腔室材料：                    铝
容积： 36.5 升
内部尺寸：                  229 x 330 x 483 mm
　　　　　　　
可选电极
● 可抽卸的多层电极板
● 垂直电极
● 3层温控电极
● 低微粒电极
● 次级等离子体电极

工艺气体
质量流量控制计：                           最多至6路气体
工艺压力：                                         200-2000 mTorr(取决于真空泵和气体流量)
抽真空时间：        大约1分钟 (取决于真空泵)
放气：可调
射频发生器：                                      风冷13.56MHz,600 瓦(标准配置)
供给需求电源：　　　　　                     220V 单相,2.3 KW, 50Hz
工艺气体：                                         输入压力 1-2 bar
吹扫气体：                                         输入压力 1-2 bar
压缩空气：                                         输入压力 4-6 bar
尺寸：                                            宽/高/深 775 x 723 x 781 mm（不含泵）
重量：                                               约157千克（不含泵）

可选项
● 压力控制器
● 1%精度的真空规
● 指示灯柱
● 条形码阅读器
● 工艺气体切换器
● 光谱终点检测器
● 300 瓦13.56 MHz射频发生器
● 水冷机
● 单体处理装置
● 真空泵（油泵或干泵）
● 气相MFC