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Wafer在线等离子清洗机

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称深圳市金徕技术有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/1/18 7:53:47
  • 访问次数49
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金徕成立于2008年,致力于低温等离子产品的研发和产业化,是一家集技术研发、生产、销售以及售后服务于一体的技术企业,产品成功应用于新能源、半导体集成电路及微电子产业、PCB线路板制造 、 生物医疗材料 、精密仪器、机械及电气制造、 聚合物薄膜、纺织纤维改性 、汽车制造、橡胶塑料等产业。 公司拥有经验丰富的技术专家团队,主要设计研发人员都拥有十年以上行业经验。现有团队成员50多人;其中硕士研究生3人,85%以上人员为大专以上学历。公司秉承客户至上、品质至上、创新、速度的理念,不断加强自主创新与发展。专注于等离子技术研发及应用。同时为客户提供高效、精准的自动化制造方案。 金徕和南方科技大学成立了校企联合实验室,也同中国科技大学、天津大学、华中科大、航天空气动力研究院、中科院电子所、理化所、金属所、中国强磁场中心等单位都有很好的合作关系。 始终牢记为客户创造更大价值而持续创新的使命和成为行业百年服务品牌的愿景,继续为实现客户更大的价值而努力。
大气等离子清洗机 真空等离子清洗机 等离子清洗机 电晕机 脉冲清洗机 大型等离子清洗机 小型等离子清洗机 PCB在线等离子清洗机 塑胶五金等离子清洗机
应用范围:✦ LED,Wafer引线框架清洗活化 ✦ Silicon Wafer晶圆表面活化...✦ 粘片前进行处理,提高芯片附着力;✦ 键合前进行处理,提高键合强度;✦ 塑模和封装前进行处理,减少封装分层;✦ 硅晶片的表面有机物的清洗.
Wafer在线等离子清洗机 产品信息
Wafer在线等离子清洗机是一款针对从wafer制造的高效率光刻胶去除工艺到芯片封装领域的在线式等离子清洗工艺 ,适用于wafer清洗及芯片封装的多功能设备,满足客户需求。

产品规格



型号

JL-IVM-010

JL-IVM-011

外形尺寸MM

1600(L)*1000(W)*1700(H)MM

1600(L)*800(W)*1400(H)MM

腔尺寸 MM

300(L)*500(W)*50(H)

300(L)*120(W)*50(H)

轨道数量

双轨八道

单轨一道

清洗效率

600片每小时

120片每小时

等离子发生器

13.56MHz0~600W可调。

13.56MHz0~300W可调。

真空度

0.01~0.8Torr

0.01~0.8Torr

气体通道

2路,(O2/Ar/H2/CF4可选)

2路,(O2/Ar/H2/CF4可选)

产品尺寸(MM)

140~280,宽30~80,可定制

140~280,宽30~80,尺寸可定制

冷却方式

风冷

风冷

真空泵

无油泵

无油泵

针对产品

集成电路/LED封装

集成电路/LED封装


功能应用
✦ 
LED,Wafer引线框架清洗活化 

✦ Silicon Wafer晶圆表面活化...
✦ 粘片前进行处理,提高芯片附着力;
✦ 键合前进行处理,提高键合强度;
✦ 塑模和封装前进行处理,减少封装分层;
✦ 硅晶片的表面有机物的清洗.


产品优势

 ►  针对LED,IC封装工序设计。
 ►  配备自动上片,传输,清洗,收片等功能。
 ►  高度自动化作业,减少人员干预,降低二次污染风险。
 ►  模块化设计,组件更换灵活,切换产品快速。
 ►  采用13.56MHZ电源,清洗时间短,无溅射,温度低。
 ►  运行过程实时监控,动画指示工作过程,一目了然。
 ►  设备操作权限分级管理,生产过程可管控。
 ►  故障报警可追索,有提示,快速排查故障部位,便于维护。



 


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