合肥知常光电科技有限公司
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大口径光学元件散射缺陷检测仪(ModelLSDI-2000-LA)，适用于大口径光学材料、半导体材料和金属等材料抛光后的表面缺陷检测和分析
大口径光学元件散射缺陷检测仪(Model LSDI-2000-LA)，适用于大口径光学材料、半导体材料和金属等材料抛光后的表面缺陷检测和分析。本系统是一款非接触式、全自动的检测仪器，能够高速检测待测表面的划痕、麻点、脏污等特性。
产品特征 1. 高速度
2. 高灵敏度
3. 高重复性
4. 全自动操作
5. 可根据不同标准自动判别
主要技术参数 | 大口径光学元件散射缺陷检测仪 | ||
型号 | LSDI-2000-LA | LSDI-3000-LA |
检测方式 | 全自动 | 全自动 |
检测灵敏度 | ≤ 500nm | 65 nm~90 nm |
样品尺寸 | 米级 | φ 300 mm |
注：可以根据客户需求提供同类特制仪器和相关测试的解决方案。
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