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HPG400 大气压至高真空真空计

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更新时间：2023-08-26 12:45:38浏览次数：86次

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上海森懋机械设备有限公司

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产品简介

益处HPG400可节省成本和工具空间

详细介绍

益处

HPG400 可节省成本和工具空间，降低真空系统安装与设置的复杂性
高压热电离真空计可以准确可靠地测量 1×10^-5 … 1 毫巴范围内的压力，进而改善过程控制
用户可选的热离子发射在 5×10^-2 至 1 毫巴之间启动
皮拉尼联锁保护热丝，防止过早烧毁
备有可选的图形显示屏和现场总线接口
高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
RoHS 合规

典型应用

半导体制造、电子和媒介产业中的溅射应用
工业镀膜

低真空和高真空范围内的一般真空测量和控制

规格

类型			HPG400
测量范围（空气，N2）		2×10-6 … 1000
精度
10-5 … 1 毫巴	% of reading	±15 (1)
可重复性
10-5 … 10-1 毫巴	% of reading	2
10-1 … 100 毫巴	% of reading	30
热离子发射，可选：
选购件 1	mbar	1
选购件 2	mbar	5×10-1
选购件 3	mbar	2×10-1
选购件 4	mbar	1×10-1
选购件 5	mbar	5×10-2
压力，更大	bar (absolute)	2
温度
运行（环境）	°C	0 … +50
贮存	°C	-20 … +70
在法兰处烘烤	°C	80
移除烘烤电子设备	°C	150
电源电压		20 … 28
输出信号模拟
输出信号	V	0 … +10.2
测量范围热阴极	V	1.5 … 7.5
测量范围皮拉尼	V	8.5 … 9.75
电压比压强热阴极	volts per decade	1
电压与压强皮拉尼	volts per decade	0.25
错误信号热阴极	V	0.3
错误信号皮拉尼	V	0.5
更小负载电阻	kΩ	10
接口（数字）(2)		RS232C
电气连接		D-Sub, 15-pin, male
电缆长度，更大 (3)	m (ft.)	100 (330)
暴露于真空的材料		Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
内部容积 KF / CF	cm3 (in.3)	20 (1.2) / 30 (1.8)
重量 KF / CF	g	430 / 695
保护等级		IP30
DeviceNet™
协议		DeviceNet™, group 2 slave only
数据率开关	kBaud	125, 250, 500 or network programmable
电缆长度 125 kbps	m (ft.)	500 (1650)
电缆长度 250 kbps	m (ft.)	250 (825)
电缆长度 500 kbps	m (ft.)	100 (330)
MAC ID		2 switches (address 00 - 63) or network programmable
网络规模		up to 64 nodes per segment
数字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
可视通信指示器		LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
技术规格		DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
设备类型		''CG'' for combination gauge
I / O 从属传讯		polling only
设定点继电器：设定点数量		2
设定点继电器：范围	mbar	2×10-6 … 100
设定点继电器：继电器触点		n.o., potential free
设定点继电器：滞后	% of reading	10
设定点继电器：触点额定值		60
DeviceNet™ 电源电压		11 … 25
真空计电源电压	V (dc)	20 … 28
DeviceNet™ 连接器		Microstyle, 5-pin
HPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器		D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP
波特率		9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址		2 switches (address 00 - 127) or network programmable
数字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
设定点继电器：设定点数量		2
设定点继电器：范围	mbar	2×10-6 … 100
设定点继电器：继电器触点		n.o., potential free
设定点继电器：滞后	% of reading	10
设定点继电器：触点额定值		60
Profibus DP 连接器		D-Sub, 9-pin, female
HPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器		D-Sub, 15-pin, male