苏州迈客荣自动化技术有限公司
MPT-3J系列(三维集成式工作台)
MPT-3JN/RL010 | MPT-3JN/RL025 | MPT-3JN/RL050 | |
运动自由度 | Z,θx,θy | Z,θx,θy | Z,θx,θy |
转角范围(mrad±10%) | ± 0.4 | ± 0.8 | ± 1.0 |
位移范围(μm±10%) | 10 | 25 | 50 |
位移分辨率(nm) | 0.2 | 0.4 | 0.5 |
重复定位精度(nm) | -/2 | -/4 | -/5 |
角位移分辨率(μrad) | 0.4 | 0.8 | 1 |
角重复定位精度(μrad) | -/4 | -/8 | -/10 |
负载(Kg) | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
固有频率(Hz) | 1000 | 1000 | 800 |
重量(g±5%) | 250 | 400 | 550 |
工作电压(V) | 0-150 | 0-150 | 0-150 |
工作温度范围(℃) | -20~80 | -20~80 | -20~80 |
外型尺寸 A(mm) | 60 | 80 | 100 |
外型尺寸 B(mm) | 52 | 52 | 52 |
外型尺寸 C(mm) | 50 | 50 | 50 |
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