思显光电技术（上海）有限公司
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光谱共焦位移传感器测量能力可满足更多的测量需求1.THINKFOCUS光谱共焦位移传感器CDS-500光斑更小
光谱共焦位移传感器
测量能力——可满足更多的测量需求
1.THINKFOCUS 光谱共焦位移传感器 CDS-500光斑更小。
2.THINKFOCUS 光谱共焦位移传感器 CDS-500 无平均化处理。
3.THINKFOCUS 光谱共焦位移传感器 CDS-500 可同时适应多种材料，且稳定测量。
主要型号参数
| OP2-Fc 安装距离：11mm 量程：±190 线性度：±0.02%F.S. 分辨率：10nm 光斑：10um |
| OP3-Fc 安装距离：12.7mm 量程：±550 线性度：±0.02%F.S. 分辨率：20nm 光斑：12um |
|
| OP4-Fe 安装距离：19mm 量程：±1700 线性度：±0.02%F.S. 分辨率：40nm 光斑：20um |
| OP5-Fe 安装距离：30mm 量程：±5000 线性度：±0.02%F.S. 分辨率：300nm 光斑：25um |
|
规格/测头
| 型号With CDS-500 |
| OP1 | OP2 | OP3 | OP4 | OP5 |
| 安装距离 | mm | 8 | 11 | 12.7 | 19 | 30 |
| 量程 | μm | ±55 | ±190 | ±550 | ±1700 | ±5000 |
| 倾角 | deg | ±45° | ±28° | ±25° | ±21° | ±14° |
| 放大器型号 |
| Fc | Fc | Fc | Fe | Fe |
| 光斑尺寸 | μm | 2 | 10 | 12 | 20 | 25 |
| 位移测量 |
|
| ||||
| 分辨率(平均128次) | nm | 2 | 5 | 10 | 20 | 150 |
| 精度 |
| ±0.02%F.S. | ±0.02%F.S. | ±0.02%F.S. | ±0.02%F.S. | ±0.02%F.S. |
| 厚度测量 |
|
| ||||
| 最小厚度测量 | μm | 5 | 12 | 22 | 66 | 192 |
| 厚度测量 | μm | 100 | 460 | 1540 | 4390 | 14850 |
| 长度 | mm | 208 | 176 | 176 | 130.5 | 145.5 |
| 直径 | mm | 27/40 | 27 | 27 | 27 | 27 |
规格/控制器
| 型号 | CDS-500 |
| 采样频率 | 200 to 4500 points/sec 用户可定义 |
| 光源 | 蓝色激光 |
| 测量模式 | 位移/厚度 |
| 通讯控制 | 以太网 |
| 编码器 | 增量式（A/B项） |
| 同步I/O | 1 Trigger input(TTL)5V |
| 光纤连接器 | FC/APC |
| 兼容性 | 兼容所有型号测头 |
| 电源/功耗 | 24V DC 3A |
| 工作温度 | 5℃-40℃ |
| 放置温度 | -30℃-70℃ |
| 相对湿度 | 5%-80%无冷凝 |
| 防护等级 | IP 40 |
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