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产品型号EVB
品 牌
厂商性质其他
所 在 地
更新时间:2023-02-11 18:19:13浏览次数:132次
产品分类 品牌分类
全部产品列表
经营模式:其他
商铺产品:93条
所在地区:
【停产产品】代替产品:IAVB系列通过马达驱动调整阀的开度,实现了多种导率的电动真空阀。行业半导体制造工序(前工序)半导体制造工序(后工序)
【马达驱动,30点开度设定】根据外部信号通过马达驱动调整开度。最小间距0.15mm(NW25时)。简易的导率可变系统及真空控制的自动化。
【开度监视功能、各种信号输出功能】内置编码器,可监视当前开度。具备阀开、阀闭状态的动作完成信号、报警输出功能,使用更放心。
电动真空阀
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