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渗氦型标准漏孔又叫氦质谱检漏仪漏孔,氦质谱检漏仪标准漏孔是利用氦气对石英及大多数玻璃有高的渗透性这一特性制作
渗氦型标准漏孔又叫氦质谱检漏仪漏孔,氦质谱检漏仪标准漏孔是利用氦气对石英及大多数玻璃有高的渗透性这一特性制作。此类型漏孔对污染不敏感;长时间内漏率稳定;漏率可以做得很小。
10 -11 Pa·m 3 /s≤0.3%/y 、10 -12 Pa·m 3 /s≤0.1%/y
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