◆Mini LED分选设备系统(竖立式)
特点︰
·Mini LED晶粒分选单粒转移系统;
·高精度运动控制;
·Wafer上下料,自动对位;
·多功能夹具,支持多种尺寸wafer ;
·多仪器搭载,支持转移后晶粒坏点修复。
项目 | 规格 |
尺寸 | 长*宽*高: 1.3m~1.8m |
测试样品大小 | ≥4mil *4mil |
光学系统 | 解析度1282 *1026pixel (单色) 精度±1/4 pixel |
反应时间 | 120ms |
运动系统 | 采用高精度伺服电机,高精度滚珠螺杆,微米级 |
良率、精度 | 1.扫描判别率➢99.98% (扣除外观不良) 2.挑捡良率➢99.98% (扣除排列不整) 3.重复性排列精度土5um |
Bin | Bin端排检数量可自行设定,分选相同bin张数可任意设定,单张被分选数可 设定; Bin容量可定制 |
校正系统 | 校正后,Bin端99. 9%分选固晶精度以十字标为基准st10um |
软件 | 特仪自主开发之软件,全中文版,C#编程模块化, 操作简单,U界面可依据客 户需求进行定制,软件自带各标准测试手法,可以通过直接调用模式进行测试 |