清洗
● 有机膜的去除（油，蜡等有机膜）。
● 电子零件，光学零件和微小部件的清洗、电镀、涂层前处理。
● 细菌的消毒等（通过氧自由基进行细胞膜的蚀刻或通过紫外线进行消毒）。
表面改质
● 高分子材料表面的官能基付与→ 粘合性，密着性提高。通过氧化反应，在表
面生成-OH, >C=O, -COOH等官能基（微量的水分及二氧化碳影响）；
● 电子零件，光学零件和微小部件的清洗、电镀、涂层前处理。
● 细菌的消毒等（通过氧自由基进行细胞膜的蚀刻或通过紫外线进行消毒）。
同样，氮气等离子时，表面吸取氮原子生成-NH2官能基。
● 提高各种聚合物的粘结性以及提高医科齿科材料的生物相容性等。
● 通过处理培养皿可以在其上均匀涂抹培养基等。
蚀刻
● 有机高分子材料的蚀刻。对于有机高分子氧气成为蚀刻气体，可以进行抗蚀剂的蚀刻。
● 促进种子发芽等实验。
