X射线光电子能谱仪 -XPS
厂家型号：赛默飞 Escalab250Xi
技术参数：
ESCALAB 250Xi型电子能谱仪是一台多功能高性能的表面分析仪器，以X射线光电子能谱为主要功能，还带有紫外光电子能谱、反射电子能量损失谱及离子散射谱等附件功能。
1. X射线源靶：单色化Al靶、双阳极Al/Mg靶；分析区域：20μm~900um之间连续可调；灵敏度：1*106 cps；成像空间分辨率：小于3μm 。
2. 真空系统：样品分析室（SAC）：小于5.0×10-10 mbar（压强）；样品处理室（STC）：小于7.0×10-9 mbar（压强）。
3. 离子枪：离子源：Ar ；束流：6μA（）at 3keV 。
4. 光源：He紫外光源。
应用范围：
在金属、玻璃、高分子、半导体、纳米材料、生物材料以及催化等领域有广泛应用。
1.鉴别样品表面的元素种类、化学价态及相对含量；
2.深度剖析XPS,结合离子刻蚀技术对样品（如薄膜等）进行成分深度分布分析；
3.XPS成像，可对元素或化学态进行表面分布分析；
4.利用微聚焦X射线源或电子束可以获得微区表面信息。
表征项目：
XPS常规、价带谱VB-XPS、功函数UPS、元素的俄歇谱表征AES，XPS深度蚀刻、微区成像。
样品要求：
1.元素含量不低于1% ；
2.粉末样品≥10mg ；液体样≥0.5ml ;块状样：长宽厚 5*5*3mm 。
