四维薄膜样品架与测角仪安装设有定位装置，激光测距定位衍射面，安装、拆卸方便，即插即用，无需调整光路。可测量样品尺寸：φ70×10mm（或按用户要求设计可以测量样品尺寸）、样品升降精度（Z）轴：1μm。
Göbel Mirror镜平行光发散度小于0.028°，反射效率大于70%
薄膜样品XRR衍射谱图
摇摆测量衍射谱图
薄膜掠入射分析GIXRD测量
丹东浩元仪器有限公司位于鸭绿江畔，黄海岸边。是集产品研发、生产、销售、服务于一体的X射线衍射仪、X射线应力仪专业生产企业，是X射线衍射仪国家标准制定单位，国家企业。 企业拥有一支高素质、年轻化、专业化的研发团队和现代化企业管理队伍。公司始终秉承诚信、创新、发展的企业核心价值观，掌握国内处于行业水平的核心技术，全身心致力于X射线分析仪器的研发与生产。 目前销售的DX系列X射线衍射仪、高分辨X射线应力仪在稳定性、分析精度、射线探测效率、多功能化等关键性能上已经取得突破进展。为航天航空、物理、化学、冶金、材料、制药、机械、石油、考古、地质、矿业等领域材料结构表征提供可靠的检测手段。
X射线仪器
衍射仪薄膜测量装置 产品信息
衍射仪薄膜测量附件由多层膜反射镜和三维薄膜样品架组成，实现对大于20nm薄膜样品测量。可实现对薄膜样品进行薄膜反射分析XRR(针对多晶、单晶多层薄膜厚度、密度、粗糙度进行精确分析）、薄膜掠入射分析GIXRD(精确分析多层膜中材料的组成、次序、取向等)。 三维薄膜样品架
四维薄膜样品架与测角仪安装设有定位装置，激光测距定位衍射面，安装、拆卸方便，即插即用，无需调整光路。可测量样品尺寸：φ70×10mm（或按用户要求设计可以测量样品尺寸）、样品升降精度（Z）轴：1μm。 平行光源由多层膜反射镜（Göbel Mirror）和腔体及腔体调整机构组成，安装机构与衍射仪前索拉狭缝体实行互换，平行光源在出厂前已经调整好了，操作人员不需要调整。
Göbel Mirror镜平行光发散度小于0.028°，反射效率大于70%
薄膜样品XRR衍射谱图
摇摆测量衍射谱图
薄膜掠入射分析GIXRD测量
四维薄膜样品架与测角仪安装设有定位装置，激光测距定位衍射面，安装、拆卸方便，即插即用，无需调整光路。可测量样品尺寸：φ70×10mm（或按用户要求设计可以测量样品尺寸）、样品升降精度（Z）轴：1μm。
Göbel Mirror镜平行光发散度小于0.028°，反射效率大于70%
薄膜样品XRR衍射谱图
摇摆测量衍射谱图
薄膜掠入射分析GIXRD测量
