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LSC-5000 (AD) 全自动兆声大基片湿法去胶系统

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称深圳市科时达电子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地深圳市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/2/19 20:40:27
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深圳市科时达电子科技有限公司创建于2011年,经过十年的发展,已经成长为一家专注于电子材料、半导体仪器设备、医疗设备三大产品领域的,是一家集研发、制造、销售为一体的企业。我们的主营业务涉及了研发销售及加工电子材料及周边产品;电子光电产品设备研发组装及销售,半导体仪器设备销售;国内贸易、货物及技术进出口;医疗器械研发及销售;医用耗材及医疗用品的销售等。科技创新是科时达公司的核心竞争力。我们拥有一支高度专业化的技术研发和管理团队,建立了国内的实验室和光电研究中心,与多家科研机构与大专院校开展“产、学、研”合作,成功开发出一系列具有高科技含量的市场产品,公司产品通国内科研机构的产品认证。同时,公司拥有电子信息领域相对完备的科技创新体系,在电子装备、医疗设备、产业基础、网络安全等领域占据技术主导地位,肩负着支撑科技自立自强、推进国内科技现代化、加快数字经济发展、服务社会民生的重要职责。聚焦“三大定位”主责,科时达公司按照“做优电子装备、做大仪器设备、做精产业基础、做强研发销售”的总体布局,持续优化核心业务体系,推动企业在科技现代化建设、现代产业体系建设的核心关键技术节点上“布点”,在产业链价值链创新链关键环节上“成线”,在关系国家、国民经济命脉和国计民生关键领域上“控面”。做强电子装备,重点发展利用声、光、电磁信号进行信息感知、传输、运用等的系统级装备和产品,打造全域多维一体新一代电子装备,不断夯实在高校科研领域和高科枝企业的提供地位。做大仪器设备,重点发展半导体仪器基础设施和医疗设备应用与整体解决方案,全面支撑基于网络信息体系的联合和全域能力提升、国家治理能力提升和数字化发展。做精产业基础,重点打造形成电子基础产品科研和生产的基础支撑能力,以夯实产业链供应链自主可控能力为根本目标,推动以“科时达基因”为核心的销售集群式发展。做强研发销售,致力于电子产品的研发。科时达公司是一家企业,多年来公司研发团队致力于电子材料、半导体仪器和医疗设备的研发。同时企业还致力于将产品做好国内外市场销售,在整体销售模式中具备一套完整的销售体系。以客户需求为导向,以质量求生存,科时达公司以超凡的品质和优良的服务,获得国内外市场的一致认可;公司营销网络覆盖,产品世界各地,目前已经成为国内电子科技行业中重要的生产制造基地。
NANO-MASTER提供兆声单晶圆&掩模清洗(LSC)系统,用于的无损兆声清洗。可以适用于易受损的带图案或无图案的基片,包含带保护膜的掩模版。为了在确保不损伤基片的情况下达到化的清洗效果,兆声能量的密度必须保持在稍稍低于样片上任意位置上的损伤阈值。NANO-MASTER的技术确保了声波能量均匀分布到整个基片表面,通过分布能量的支持的清洗,同时保证在样片的损伤阈值范围内。
LSC-5000 (AD) 全自动兆声大基片湿法去胶系统 产品信息

LSC是占地面积较小,并且很容易安装在空间有限的超净间中。该系列设备都具有出众的清洗能力,并可用于非常广泛的基片。

LSC-5000 (AD)全自动兆声大基片湿法去胶系统应用:

  • 光刻胶去除/剥离

  • 硅片

  • 蓝宝石片

  • 圆框架上的芯片

  • 显示面板

  • ITO涂覆的显示屏

  • 带保护膜的分划版

  • 掩模版空白部位

  • 掩模版接触部位

  • 带保护膜/不带保护膜的掩模版

LSC-5000(AD)全自动兆声大基片湿法去胶系统的特点:

  • 支持450mm直径的圆片或15”x15”方片

  • 带兆声、DI、刷子、热DI、高压DI、热氮、化学试剂滴胶臂的大腔体

  • 带化学试剂滴胶的刷子转速可调节

  • 带LABVIEW软件的PC全自动控制

  • 触摸屏用户界面

  • 机械手上下载片,带EFEM以及SMIF界面

  • 安全互锁及警报装置

  • 30”D x 26”W 的占地面积  

LSC-5000(AD)全自动兆声大基片湿法去胶系统选配项:

  • 化学试剂传输模块

  • Piranha溶液清洗                                       

  • 臭氧化DI水(20ppm的O3)

  • 氢化的DI水

  • 高压DI水

  • 热DI水

  • 溶剂和酸分离排放

  • IR红外加热

  • DI水循环机

  • 耐火立柜



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