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美国蚀刻和剥离系统 CESx124

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称深圳市科时达电子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地深圳市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/2/19 20:21:57
  • 访问次数30
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深圳市科时达电子科技有限公司创建于2011年,经过十年的发展,已经成长为一家专注于电子材料、半导体仪器设备、医疗设备三大产品领域的,是一家集研发、制造、销售为一体的企业。我们的主营业务涉及了研发销售及加工电子材料及周边产品;电子光电产品设备研发组装及销售,半导体仪器设备销售;国内贸易、货物及技术进出口;医疗器械研发及销售;医用耗材及医疗用品的销售等。科技创新是科时达公司的核心竞争力。我们拥有一支高度专业化的技术研发和管理团队,建立了国内的实验室和光电研究中心,与多家科研机构与大专院校开展“产、学、研”合作,成功开发出一系列具有高科技含量的市场产品,公司产品通国内科研机构的产品认证。同时,公司拥有电子信息领域相对完备的科技创新体系,在电子装备、医疗设备、产业基础、网络安全等领域占据技术主导地位,肩负着支撑科技自立自强、推进国内科技现代化、加快数字经济发展、服务社会民生的重要职责。聚焦“三大定位”主责,科时达公司按照“做优电子装备、做大仪器设备、做精产业基础、做强研发销售”的总体布局,持续优化核心业务体系,推动企业在科技现代化建设、现代产业体系建设的核心关键技术节点上“布点”,在产业链价值链创新链关键环节上“成线”,在关系国家、国民经济命脉和国计民生关键领域上“控面”。做强电子装备,重点发展利用声、光、电磁信号进行信息感知、传输、运用等的系统级装备和产品,打造全域多维一体新一代电子装备,不断夯实在高校科研领域和高科枝企业的提供地位。做大仪器设备,重点发展半导体仪器基础设施和医疗设备应用与整体解决方案,全面支撑基于网络信息体系的联合和全域能力提升、国家治理能力提升和数字化发展。做精产业基础,重点打造形成电子基础产品科研和生产的基础支撑能力,以夯实产业链供应链自主可控能力为根本目标,推动以“科时达基因”为核心的销售集群式发展。做强研发销售,致力于电子产品的研发。科时达公司是一家企业,多年来公司研发团队致力于电子材料、半导体仪器和医疗设备的研发。同时企业还致力于将产品做好国内外市场销售,在整体销售模式中具备一套完整的销售体系。以客户需求为导向,以质量求生存,科时达公司以超凡的品质和优良的服务,获得国内外市场的一致认可;公司营销网络覆盖,产品世界各地,目前已经成为国内电子科技行业中重要的生产制造基地。
这款蚀刻和清洁系统专为满足当今晶圆、光掩模和基板的前沿应用的特殊工艺需求而设计。
美国蚀刻和剥离系统 CESx124 产品信息

这款蚀刻和清洁系统专为满足当今晶圆、光掩模和基板的前沿应用的特殊工艺需求而设计。这高效蚀刻和清洁系统CESx124126128133理想选择,可满足不同大小尺寸的晶片、光掩模和衬底,不论是从小直径还是非常大直径CESx可以配置多种工艺分配选项,Megasonic喷嘴对DI H20或化学药品的处理分配选项;用于化学制剂的低压喷嘴;化学加热器和DI-H20;用于表面搅拌以加快反应的刷子,和/DI H20等。


特点:

专为重要控制和安全而设计的系统。

多达9x9英寸/ 300mm直径的基板兼容性。

主轴组件具有直流无刷伺服电机,可实现精确的速度控制和分度。

特氟龙涂层不锈钢臂可调节臂速度和行进位置。

径向排气腔,用于层流,盖子顶部有N2进料。

DI-H20加热器,用于清洁和干燥辅助。

过程中包含化学相容性材料PVDF或可选的PTFE

独立式聚丙烯柜。

微处理器控制功能可以在存储器中保留三十(30)步的配方,每个配方有三十(30)步。配方和步骤的数量均可根据要求扩展。

内置安全联锁和双重控制。

用联锁装置冲洗整个工艺区域和基材的pH值,以禁止进入工艺区域并控制排放和主轴转速直到安全。

按钮盖打开/关闭。

触摸屏图形用户界面(GUI),易于编程和安全锁定,并带有屏幕错误报告。

用于化学和房屋排水的排水分流阀。

设计符合SEMI S2 / S8准则。


技术参数:

产品:蚀刻和剥离系统

型号:CESx124

可用机械臂:4

基板尺寸:13英寸直径

主轴速度:2500

配方:高达30

分配管路:12


主营产品:

Laurell匀胶机

Harrick等离子清洗机

Thetametrisis膜厚仪

Microxact探针台

ALD原子层沉积系统

TRION反应离子刻蚀机

Uvitron紫外固化箱

NXQ紫外曝光光刻机

Novascan紫外臭氧清洗机

Nilt纳米压印机

Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加热板

Annealsys高温退火炉

Kinematic程序剪切仪

Laurell EDC系统,湿站系统

Wabash/Carver自动压片机


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