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MCPD series 嵌入式膜厚测试型

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称大塚电子(苏州)有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地苏州市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/1/9 10:49:25
  • 访问次数37
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大塚电子(苏州)有限公司主要销售用于光学特性评价?检查的装置。其装置用于在LED、 OLED、汽车前灯等的光源?照明产业以及液晶显示器、有机EL显示器等平板显示产业以及其相 关材料的光学特性评价?检查。  以高速?高精度?高可靠性且有市场实际应用的分光器MCPD系列为基础, 在中国的显示器 市场上有着20年以上销售实例, 为许多厂家在研究开发、生产部门所使用。并且在光源?照明 相关方面,对研究机构、各个厂家的销售量在逐步扩大。  在中国的苏州有设立售后服务点,为了能迅速且周到的为顾客服务而努力。  我公司的母公司日本大塚电子集团,隶属于大冢集团, 一直以来都谨守大冢集团 的企业理念「Otsuka-people creating new products for better health world wide」(大冢 为人类的健康创造革新的产品), 怀着大冢制药株式会社「多样性」「性」「世界化」的愿景, 不断的推出创新产品,面向开展业务,为社会作出贡献。
光谱仪
本公司的MCPD series,由于采用柔软纤维的事,从In-Situ到内联各种各样的地方和用途的编入成为可能。测量原理为分光干涉方式,在实现高测量再现性的同时,还支持多层厚度测量。通过采用独自算法,可以高速实时监控。...
MCPD series 嵌入式膜厚测试型 产品信息

产品信息

特 点

●膜厚测量范围65nm~92μm(换算为SiO2)

●最短曝光时间1ms~※根据规格

●由于是柔性纤维光学系统,容易组装到半导体工艺装置中

●可从上层远程控制

●于研磨中膜厚终点检测

基本配置

基本構成図(1).png

装置组装示意图


組込みイメージ.png


测量案例

測定例.png


  适应过程示例

CMP工艺

蚀刻工艺

成膜工艺

等等

仕様

MCPD-9800仕様

1686105796157.jpg

MCPD-9800仕様

1686105880964.jpg



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