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设备特点： Ø 全自动运行扫描，无缝拼接技术 Ø 高分辨率光学系统、恒定LED光纤照明、自动偏光 Ø 电脑控制和操作杆控制XYZ电动平台 Ø 自动计算金属颗粒，非金属颗粒，纤维颗粒 Ø 扫描过程自动拍照、进度实时可见；图片浏览检查功能，非缩率图，可以实现每个视场定位回溯等功能 Ø 对每一个颗粒ID定位，随时聚焦目标图片颗粒，进行颗粒属性尺寸验证。 | ||
颗粒分析 | Ø 金属颗粒：通常是最关注的，并且是最关键的颗粒. Ø 非金属颗粒，不含纤维：这些颗粒和金属颗粒一样是关键性污染物颗粒。 Ø 纤维：这些颗粒在测试的准备和操作过程中是无法避免的。因此，即使有时候纤维是滤膜上的颗粒，其关注度也是相对不高。 Ø 将颗粒预分为三类,可减少手动操作的工作量,并且限度的关注所有与实际操作相关的颗粒。 Ø 通过偏振镜机构对滤膜进行二次扫描，并实现对滤膜上金属和非金属颗粒 的统计和鉴别针对塑料、玻纤等同样会产生反射的物体， Ø 系统会自动将其与金属颗粒区分开，此方法有效的回避了被误判为金属颗粒的风险。 Ø 对于尼龙网格编织膜的扫描数据表现同于其他表面滤膜的扫描数据，结果不受网格影响。 Ø 检测颗粒≥5um
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