发射源：预对中钨灯丝
分辨率：
3.0nm@ 30kV（SE）；8.0 nm@ 3kV（SE）
放大倍数：5 ~ 1,000,000×（宝丽来相纸放大）
加速电压范围：200V ~ 30kV
探针电流范围：可达到2μA，连续可调
X-Ray工作距离：10 mm，EDS检出角：35°
样品室：内宽280mm，端口10个
样品台：五轴全自动马达驱动
☆ X=120 mm,
☆ Y=120 mm,
☆ Z=55 mm,
☆ T=-15o~90o,
☆ R=360o （连续旋转）
☆ 承重 10 kg
探测器系统：
☆ 高真空二次电子探测器ETD
☆ 可伸缩式背散射探测器BSED
☆ 样品室内红外相机CCD
☆ 图像导航彩色光学相机Nav-Cam+™
☆ 具有ChemiSEM技术的TrueSight X EDS 探测器
控制系统：
☆ 操作系统：Windows 10
☆ 图像显示：24寸LCD显示器，高显示分辨率1920×1200
☆ 支持用户自定义的GUI，可同时实时显示四幅图像
☆ 软件支持Undo和Redo功能
实时成分信息：同步扫描获取多种信号时执行能谱分析，实时检测形貌与元素信息；
成像平台即时可用：只需关注数据采集，不必忧虑电镜条件设置；
快速获得数据：多种成像和扫描策略，优化图像采集效果并提升系统处理能力；
灵活的样品台设计：全开门式设计，大样品可轻松加载到样品仓内，10 kg；
成像性能：提供低真空模式和电子束减速模式用于消除荷电效应。
