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超高分辨肖特基场发射扫描电镜 SU7000

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称柯岷国际贸易(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地上海市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/9/28 12:31:33
  • 访问次数66
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总部:益弘仪器公司于1976年成立,代理电子显微镜已有40多年,经验丰富、服务口碑颇佳。公司员工逾100位,电子显微镜部门维修服务人员超过40员,其中中国台湾20多位,中国大陆20多位,如附表一。中国大陆柯岷国际贸易(上海)有限公司成立于2002年四月。 HHT日立柯岷公司负责中国区域的VIP客户(例如:中芯国际,台积电,英特尔集团、美光集团、三星集团,Hynix集团,日立集团,长江存储武汉新芯集团,晶合,睿力,格芯半导体(GLOBALFOUNDRIES);日月光集团,富士通集团,江苏长电科技;LG集团,友达集团,群创集团,三星集团,信利集团;广达集团,富士康集团,华硕集团,沪士电子,欣兴集团,健鼎集团,南亚集团……),应广大的台资外资,半导体,光电企业与电子相关企业在中国大陆投产使用电子显微镜售后服务迫切需求,2002年Hitachi特别委由中国台湾益弘仪器公司在中国名为柯岷公司负责该区域与售后服务。十九年多来与台资、外资电子,光电相关企业使用Hitachi电子显微镜客户与柯岷公司建立良好的互动关系,客户对柯岷国际贸易(上海)有限公司负责Hitachi电子显微镜售后服务维修保养十分满意。目前柯岷公司注册于上海自由贸易区,总部设在苏州昆山地区?服务人员计有4位台籍常驻干部,每位资历都超过20年维修服务工作经验。十几位本国服务工程师维修服务团队阵容坚强,且均属专业电子显微镜项目。
研磨机(研磨仪)
SU7000不仅可以在低加速电压下获得高画质图像,而且还可以同时接收多种信号。此外,它还具备大视野观察、In-Situ观察等FE-SEM的众多性能。SU7000是一台实现了信息获取量的新型扫描电镜,可以满足客户的多种观察需求。接下来请欣赏SU7000带来的多彩世界。
超高分辨肖特基场发射扫描电镜 SU7000 产品信息

◆ 核心理念

1.采用优异的成像技术

SU7000可以迅速获取从大视野全貌图到表面微细结构等多种检测信号。全新设计的电子光学系统和检测系统,使得装置可以同时接收二次电子和背散射电子等信号,用户可以在短时间内获得更全面的样品信息。

2.采用多通道成像技术

随着用户对成像需求的不断增长,SU7000特新增了几种探测器,还引进了相应的成像功能。SU7000最多可同时显示和保存6通道信号。实现了获得样品信息。

3.支持不同形状样品、多种观察方法

・大型样品观察

・低真空观察

・超低温观察

・实时观察

等所需的样品仓和真空系统都十分完备,观察方法也是。

4.支持微纳解析

采用肖特基发射电子枪,束流可达到200 nA,适用于各种微纳解析。样品仓形状和接口设置支持EDX分析、EBSD、阴极荧光分析等,接口设备可通过选配附件满足各种特殊需求。


◆ 成像能力

追求信息大化的检测系统

随着用户对样品数据的需求更加多元化,对检测系统在短时间内捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的检测系统可以在不改变WD等条件的前提下,更高效地获取形貌、成分、晶体学以及发光等信息。真正实现了更快速、更全面的信息收集。

同一条件观察

样品:包裹有机物的金属棒

样品提供:Vassar College, Chemistry Dept.

Mr. Smart and Ms. Pineda


日立扫描电子显微镜

通过UD、MD、LD探测器同时采集信号的应用实例 (加速电压:1 kV)

通过UD、MD、LD探测器可以同时采集信号,UD可获取表面微细形状信息,MD可获取表面有机物包覆状态信息,LD可获取整体凹凸形貌信息。在同一个条件下,实现了获取信息。


◆ 采用可多通道显示的GUI设计

优化信号显示功能

成像单元在信号显示上也作了全新升级。

image.png 用户可根据观察需求,选择不同的视场角和通道数。

image.png 单屏最多可同时显示4通道信号。

image.png 导航功能(SEM MAP)可以轻松捕捉到显示样品仓内信息的CCD相机图像和相机拍摄到的样品图像,快速显示目标图像。

image.png 使用双屏显示时,可在一个显示屏上双通道显示1,280×960像素的图像,另一个显示屏专门用来显示信号,最多可同时显示6通道信号。


高自由度的界面布局

日立扫描电子显微镜

使用单屏时,可以单通道、双通道、四通道显示样品信息,也可以显示CCD相机图像、样品台图像/SEM MAP图像等。而且操作画面上的工具栏可以任意移动、添加和删除。


支持双屏显示

日立扫描电子显微镜

1st显示屏专门用来显示图像,2nd显示屏用来显示操作面板画面。上图左图(1st显示屏)是通过SU7000观察到的钢铁中非金属夹杂物的图片。图中清晰呈现出UD、LD、UVD、MD、PD-BSED5个探测器捕捉到的图像以及SEM MAP图。右图(2nd显示屏)将操作面板菜单和图像历史记录窗口在同一个画面中显示,界面布局清晰明了。在实现实时监控图像的同时,操作性能也得到了进一步提升。


◆ 可扩展观察和分析方法

样品仓和马达台

日立扫描电子显微镜     日立扫描电子显微镜

                              样品仓外观                                                             马达台外观

                          标配18个附件接口                                          XY轴可移动距离为135×100 mm

样品仓可搭载直径为φ 200 mm;高80 mm的样品。大开仓设计,标配18个附件接口。样品台可搭载XY轴移动距离为135×100 mm,最重2 kg的样品。搭载大型样品和功能样品台不成问题。


相机导航功能(*)

日立扫描电子显微镜

                      通过相机拍摄样品                                         将相机拍摄到的图像显示到SEM MAP画面上进行导航

SU7000可选配导航相机(*),迅速锁定要观察的位置。相机安装在样品仓内,插入样品后,可半自动拍摄样品的整体图像。该图像会被显示到导航画面(SEM MAP)窗口,因此,用户可以观察窗口中的图像判断位置。适用尺寸为φ 100 mm。

(*)可选配相机。


支持动态观察的检测系统

SU7000可用于环境改变的动态观察。低真空观察时,可以选用PD-BSED(背散射电子探测器)、UVD、MD等各种探测器(**)。

日立扫描电子显微镜     日立扫描电子显微镜


低真空环境的探测器选择

左图为通过MD(背散射电子),右图为通过UVD(二次电子)探测器观察到的金属氧化物纤维的情况。两张图分别清晰地呈现出氧化物的分散状态和纤维的堆积情况。

日立扫描电子显微镜     日立扫描电子显微镜

PD-BSED:响应速度提高

左图是以一般的响应速度,约每两秒扫描一次得到的图像;右图抑制了图像的漂移,使得整体的画质得到了大幅提升。随着响应速度的提高,更适用于In-Situ观察。

(**)可选配PD-BSED、UVD。


日立扫描电子显微镜

日立扫描电子显微镜

日立扫描电子显微镜

安装布局:


image.png

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