一、热导式气体传感器 MTCS2601 描述:
MTCS2601传感器由一个带有四个 MEMS 技术实现的 Ni-Pt 电阻器的微机械热导率传感器构成。该传感器安装在微型 SMD 封 装中,卷带或托盘包装供货。这款 MEMS TC 传感器与简单的低功耗 CMOS 标准集成电路相结合,非常适用于要求超低功耗、 使用寿命长且无需维护的 OEM 气体探测器应用。该设备可测量空气中二或三种气体的混合物或准二元混合物中的气体浓度,例 如空气中的二氧化碳、氩气或氟利昂等热导率较低的气体,或诸如氢气,氦气或甲烷等具有较高热导率的气体。
二、 热导式气体传感器 MTCS2601特点:
MEMS 物理传感原理稳定可靠,无化学反应,基于热导率变化工作。
量程为 100 ppm 至 100%,具体取决于应用和气体的热导率。
无化学反应,表示浓度的线性信号无磁滞
在同一硅芯片上将补偿与加热电阻匹配出色的温度补偿。
传感器体积小至< 0.1 cm3
物理电阻传感原理工作,传感器耐用且平均故障间隔时间(MTBF)长,可承受高强度冲击 (>1000 G)
基于 MEMS 的硅传感器集成电阻大(如 250 欧姆)而加热质量小,因此传感器的工作功耗极低(<8mW)。
响应速度快,电子带宽大,响应时间短至< 50 ms
三、 热导式气体传感器 MTCS2601应用:
- 通过测量二元混合物或拟二元气体混合物(空气中的 H2、He 或 CO2) 热导率来确定气体浓度
- 监控天然气中的 CH4浓度,用于燃气发动机控制
- 检测制冷剂气体,例如氟利昂(R-11、R-12、R-21、R-22)、CFC 或 CF3CH2F 氟乙烷(R-134 或 R-404),以监控冷却系统泄漏情况
- 空气中的氢气(0 ~5% 或以上)、氦气(0 – 5000 ppm) 或氙气测量
- 安保(火警、CO2监控、爆炸性气体监控)
- 工序控制、园艺、食品储存、发酵过程控制
- 作为微型电阻规用于 Micro vacuum device as miniature Pirani gauge
- 基于热导率、空气中使用的微型湿度传感器
- 安保目的的 CO2 安全监控 (0-4%) 、火警或室内空气质量监控