MODEL 3100系列是基于MODEL 3200系列开发的用于高精度流量测量的新型质量流量计。
这种高级型号采用新型低压力毛细管流量传感器，可确保高速响应和长期稳定性。
- 配备温度跟踪式电流差检测型流量传感器，实现高精度，高速响应
- F.S.1 SCCM微流量支持（SR选项）
尺寸图
标准规格
| 流量范围 （N2转换20°C / 1 ATM） | 1SCCM~20SLM（可选） |
|---|---|
| 传感器方式 | 热绕组传感器 |
| 响应速度 | 1秒内 |
| 准确性 | ±1％FS（15~35°C） |
| 再现性 | 在±0.2％FS（20°C）内 |
| 耐压 | 980kPa（G） |
| He泄漏率（* 1） | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 |
| 允许周围温度 | 0~50℃ |
| 允许环境湿度 | 10~90%RH（无结露） |
| 气体接触材料 | 车身SUS316L |
| 密封材料FKM（选件CR或NBR或Kallets） | |
| 电气连接 | Dsub 9针KFC标准（符合SEMI标准） |
| 流量输出信号 | 0~5 VDC（外部负载电阻250kΩ以上） |
| 所需电源 | +15 VDC（±5％）100 mA -15 VDC（±5％）100 mA |
| 接头 （体型） | 标准1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF） 选项1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等 |
| 重量 | 约800g |
（* 1）不含渗透。
长期渗透引起的泄漏量（参考值）为1×10-6Pa・m3 / sec以下。
警告
流量范围附带的规格（流量范围，精度，响应性等）是N2或空气转换中的规格。
另外，生产规格条件是初级侧小于300kPa，次级侧向大气开放。
有关压力条件，请另行咨询。
