MA12 Mask Aligner
用于工业研究和低成本生产的手动光刻机
MA12是专为对准和曝光300毫米以下方形衬底和晶圆而设计的,适合于工业研究和生产。凭借灵活处理和过程控制解决方案,本设备主要用于封装,包括3D圆晶级芯片尺寸封装, 以及开发和生产敏感元件,如MEMS。
亮点:◆ 强大的工艺控制;
◆ 能够可靠地处理弯曲晶圆片和敏感材料;
◆ 的光均匀性。
通过对准技术选项和可适应各种工艺环境的光学系统,MA12提供开发和使用光刻工艺所需要的灵活性。辅助操作系统和智能图形用户界面结合手动晶圆处理优点打造出强大的工艺控制和可靠性。
MA12所采用的光刻技术能够将开发出的工艺轻松传输到 SUSS MicroTec 公司第二代 MA300 生产型光刻机上。
上海铂拓能源科技有限公司是一家专业从事实验室设备解决方案、特殊工况用仪器仪表系统解决方案以及材料应用的科技型企业。 特殊工况仪器仪表:公司目前针对粮储、能源化工等行业提供复杂工况环境下用的测量仪表及解决方案。如俄罗斯利马克高频雷达物位计、伊科菲斯环保电离辐射料位计和密度计、申铄超声波在线浓度仪等。可在高温、超高压力(测量介质温度:2000℃,60bar)、高粉尘、高腐蚀、易结晶、蒸汽、超低介电常数 (介电常数1.2-1.4下依然非常精准)等介质工况下使用。目前已经广泛应用于粮油储仓、石化、钢铁冶金、电厂、水泥等行业储罐物位、介质密度及浓度的在线测量。 实验室平台建设:专业的化工、材料、环保技术团队,可以为研究单位定制实验装置,目前已经与中科院硅酸盐研究所、中科院高等院、航天811所、上海交通大学、上海大学、上海理工大学、同济大学等高校科研院所建立项目合作。代理进口实验室设备,如日本Nanovater纳米分散设备、德国纳博热高温炉、瑞士万通电化学工作站水分仪和电位滴定仪、安捷伦气相色谱仪和气质联用仪、PE珀金埃尔默ICP、麦克比表面仪、HORIBA激光散射粒径分布分析仪、扫描电镜、透射电镜、哈希浊度仪、梅特勒天平及水分仪、英国科尔康气体检测仪、日本理研软磁交直仪、MATS磁性材料测量系统、合肥科晶以及国外品牌的锂电池及燃料电池相关实验室设备等。 材料:碳材料;针对新能源汽车行业电池包热管理的需求,提供定制化隔热防火材料及热管理解决方案;提供电子元器件高热传导氮化硅基板及金属陶瓷复合材料。
气体密度计
MA12 Mask Aligner 半自动光刻机 产品信息