技术参数：
1 本底真空：10-7 Torr；
2 单基片设计，尺寸可定制；
3 基片可旋转并加热：300℃/500℃/800℃；
4 溅射：1-3支磁控溅射靶枪，可共溅射；
5 电子束蒸发：4-6坩埚
6 热蒸发：最多6蒸发源，包括有机物蒸发源；
7 可连接手套箱
深圳海创德科技有限公司成立于2012年，由数位理工科博士创办，团队成员均为理工科博士和硕士，具有高水平的专业水准。公司致力于半导体微加工及分析设备的销售和安装服务，产品覆盖薄膜制备，物性测量和表面分析。经营的主要产品如下：1. 磁控溅射、电子束蒸发、热蒸发、PECVD、LPCVD、ALD、RIE、ICP、RTP、涂胶机和热板等薄膜技术相关的设备；2. 美国Kimball Physics的电子枪、离子枪、真空腔体和荧光屏等部件；美国OCI的LEED和AES等各种真空组件；美国MicroXact的真空、低温和磁场等数种探针台；3. 我们还提供上述设备的配套部件及耗材，如直流和射频电源、靶材、探针、光刻胶和ALD耗材等。我们的产品性价比高，品质精良，性能，在欧美及中国台湾地区具有的口碑，国内众多的科研院所和大学均对我们的产品报以好评。我们期待以优质的产品，良好的服务和专业的技术为更多的客户提供解决方案！期待与您的合作！
x射线荧光分析仪
手动镀膜系统 产品信息
手动磁控溅射系统适用于本科生教学，研究生科研训练，也可以应用于科研工作。该款设备适用于磁控溅射，也可以装配电子束蒸发，热蒸发源等，用户可根据需求来选择配备。
