中科艾尔(北京)科技有限公司
工作压力:真空至300psig(低压) 真空至3000psig(高压) | 材质:316L/316L(VIM+VAR) | 工作温度:-10℃~60℃(低压) -10℃~40℃(高压)
DV系列隔膜阀,膜片式硬密封结构,超低泄漏率;适用于超高纯度气体,半导体用(毒、腐)气体,满足超大规模集成电路的工艺气体要求。
阀体 316L /316L(VIM+VAR)
膜片 Ni-Cr-Mo alloy/UNS N06022
密封垫 PCTFE
手柄 6063
工作压力 真空至 300psig, 真空至 3000psig
爆破压力 低压 3000psig, 高压 9000psig
流量系数 1/4" 为 0.25 , 1/2" 为 0.35,1/2"HF 为 0.7
工作温度 低压 -10 ~ 60℃ , 高压 -10 ~ 40℃
内漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
内表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm
适合超高纯度气体应用
高低压两种阀型
Ni-Cr-Mo alloy/UNS N06022 材料膜片
每台阀门进行单独的氦质谱检测
您感兴趣的产品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
纺织服装机械网 设计制作,未经允许翻录必究 .
请输入账号
请输入密码
请输验证码
请输入你感兴趣的产品
请简单描述您的需求
请选择省份