当前位置：上海衡鹏企业发展有限公司>>半导体>> ALPHAPLASMA AL76 Compact等离子清洗机
AL76 Compact等离子清洗机特点： |
改善Die Bonding |
改善Wire Bonding |
改善锡球焊接 |
改善倒装底部填充（FC Underfill） |
改善塑封（Molding）/封胶 |
AL76 Compact等离子清洗机选项： |
进口干泵系统（含相关附件） |
信号灯塔-红黄绿三色 |
额外的处理气体线路-最多至4路气体 |
旋转台-φ350mm，旋转速度可调 |
ECR机构 |
包装，运输 |
AL76 Compact等离子清洗机规格： |
等离子源 | 2.45Ghz微波等离子源，1200W |
腔体 | 铝.长400mm，宽400mm，深490mm，76L |
外观尺寸 | 长1050mm，宽800mm，高2020mm（含信号灯塔） |
处理气体 | 3路气体+数字MKS流量控制器 |
真空腔门 | 铰链门/抽屉式双功能+观察窗 |
观察窗 | UV与微波屏蔽保护 |
GUI 10.4"触摸屏 | Window CE操作系统 |
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