途度(上海)检测科技有限公司
产品概念:超声波扫描显微镜USAM-30用于对材料科学半导体行业等相应产品的内部缺陷检测,利用超高速线性马达运动系统,带动高频,对产品进行水浸C扫描检测,全波列采集超声波信号,利用成像算法和数据图像处理功能,对产品内部的缺陷进行有效识别,得到内部清晰图像,并统计分析缺陷位置、形状和尺寸,生成自定义报告
产品概念:超声波扫描显微镜USAM-30用于对材料科学半导体行业等相应产品的内部缺陷检测,利用超高速线性马达运动系统,带动高频,对产品进行水浸C扫描检测,全波列采集超声波信号,利用成像算法和数据图像处理功能,对产品内部的缺陷进行有效识别,得到内部清晰图像,并统计分析缺陷位置、形状和尺寸,生成自定义报告。
机械部分:1、xy轴采用线性伺服动力系统,内置磁悬浮机构;2、采用无铁芯结构,保证运行过程中的速度稳定性;3、z轴行程大于100毫米,z轴可自动对焦;4、扫描范围:300mmX300mm (可根据需求拓展扫描区域)5、扫描速度:1500mm/s,重复精度士0.1um;6、水槽标准尺寸:600mmX700mmX170mmH (水槽尺寸可定制);
超声部分:1、DPR300手动/自动一体,接收器带宽60MHz;2、**激发电压:475V;3、高通/低通滤波各6组,16个阻尼设置,脉冲能量和阻抗可调:4、脉冲重复频率5KHz;5、80db接收增益范围;6、A/D采样频率:1GHz(2G/3G选配);
软件界面:
1、界面跟踪消除产品本身曲率及检测过程中产品晃动的误差;2、多种特征成像方式(幅值成像、时间成像、相位成像、FFT成像、切片成像、多闸门联合成像等);3、区域重扫和缺陷定位,还原被检工件的形状和缺陷的大小;4、检测产品数据库管理,结果清晰,一键生成报告;5、扫查轴和步进轴可任意切换,扫描间隔可无极调节 (0.01~1mm);6、具备图像放大缩小功能,能清晰的展现出缺陷边缘状态,方便缺陷尺寸测量、统计与分析;
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