台阶仪

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更新时间：2024-07-17 09:27:55浏览次数：86次

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艾泰克仪器科技（南京）有限公司

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产品简介

台阶仪集合了共焦光学形貌仪，WLI白光干涉形貌仪，原子力显微镜，接触和非接触式双模式表面形貌检测

详细介绍

台阶仪

集合了共焦光学形貌仪，WLI白光干涉形貌仪，原子力显微镜，接触和非接触式双模式表面形貌检测。

技术参数

项目简述	参数说明
共焦	可快速垂直扫描的旋转共焦技术。使用高数值孔径 (0.95) 以及高倍数的 (150倍) 全视野3D镜头，用以表征坡度分析 (超大斜率<干涉测量>: 72°vs 44°) 。具有光学形貌上超高的横向分辨率，附有5百万自动分辨率的CCD相机，空间下样可调至0.05um，是表面特征以及形貌的测量的理想配置。在测量表面粗糙度/表面反射率上无限制应用于透明层/薄膜。兼容亮视野&暗视野; 光学DIC。长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选。高稳定性。
干涉仪（WLI）	Z向高分辨率兼具相移（PSI）以及垂直扫描（VSI）模式 Z向分辨率可独立放大四色CCD 相机，用户可自选的LED光源 (白光、绿光、蓝光和红光) 高达五百万像素的可自动分辨的CCD 相机快速处理器自动对焦
原子力显微镜	探针扫描可用于大型模板 X、Y、Z三向可达原子级分辨率大压电探针扫描XY: 达到 110x110um
变焦	粗糙表面分析快速分析一台设备上集成非接触式白光干涉形貌仪高精度原子力显微镜