1. 电子光学系统
1.1 发射源：高稳定型肖特基热场发射电子枪
自动烘烤、自动启动、SmartAlign智能自动电子枪对中
1.2 分辨率：0.9 nm @15kV
1.0 nm@1kV
1.2 nm @500V
1.3 电压范围：20V – 30kV；
调节步长：最小可达每档1V连续可调
1.4 探针电流范围：1pA – 50nA，连续可调
1.5 物镜系统
1.5.1 几何结构：60°几何结构的窄锥角物镜设计，支持较大样品的倾转观察，具备自加热功能
1.5.2 类型：电磁/静电复合式物镜系统，可有效提升低电压成像的分辨率
1.5.3 特点：物镜系统无磁场外露，可对磁性材料进行高分辨率成像及分析
1.6 光路系统：具有两级聚光镜，单级物镜，构成三级交叉式电子束光路
1.7 自动调整功能：自动电子枪对中；FLASH自动聚焦、消像散；具有聚焦补偿、动态聚焦、旋转补偿、倾斜补偿功能；DFCI自动漂移补偿帧积分
1.8 具有自加热、自清洁功能的15孔物镜光阑，大大提高光阑使用寿命，降低后期使用成本1.9 配有灯丝对中软件，保证灯丝永远处于状态，保证灯丝使用寿命，降低设备后期使用成本
2. 样品室和样品台
2.1 样品室内部空间：从左至右为340mm宽的大存储空间
2.2 样品室可拓展接口数量：12个，含能谱仪接口3个（其中2个处于180°对角位置）
2.3 EDS与EBSD具有几何共面结构
2.4 EDS分析工作距离：10mm（满足X-Ray出射角35°）
2.5 样品台
2.5.1类型：五轴马达驱动全自动优中心样品台
2.5.2样品装配方式：抽屉式拉门
2.5.3移动范围：X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm,T=-15o~90o,R=n×360o 连续旋转
2.5.4样品台具有接触报警与自动停止功能
2.5.5多功能样品台：
① 多用途SEM样品安装载物台，可同时放置 18 个标准样品座（φ12mm）
② 具有剖面样品台和三个预倾斜样品台
2.6 样品尺寸：直径不低于200mm
2.7 样品台承重：5Kg
3. 探测器系统
3.1 样品室二次电子探测器ETD
3.2 镜筒内正光轴背散射电子探测器T1
3.3 镜筒内正光轴二次电子探测器T2（高分辨成像探测器）
3.4 镜筒内正光轴二次电子探测器T3（可选；获取样品极表面形貌衬度）
3.5 样品室内IR-CCD红外相机（观察样品台高度）
3.6 可用于图像导航的彩色光学相机Nav-Cam+™
4. 真空系统
4.1 真空泵组成：2个离子吸附泵
1个250 l/s分子涡轮泵
1个机械泵
4.2 离子泵专用备用电源
4.4 样品室抽真空时间：≤3.5min
5. 图像处理
5.1 光栅扫描：电子束驻留时间25ns至25ms/像素
5.2 智能扫描和漂移补偿：256 帧平均或积分、线积分和平均法、隔行扫描、漂移补偿帧积分
5.3 扫描方式：正常扫描、缩小光栅、定点、线扫描、扫描旋转、倾斜校正
5.4 拍摄一次获取单帧图像存储分辨率：65k × 65k像素
5.5 图像记录格式：TIFF、BMP或JPEG
6. 控制系统
6.1 操作系统：Windows 10
6.2 图像显示：24寸LCD显示器，显示分辨率1920×1200
6.3 支持用户自定义的GUI，可同时实时显示4幅图像
6.4 软件支持Undo和Redo功能
6.5 User Guidance（用户操作工作流）提供设备成像分析的工作流，对操作者进行使用流程指导，降低设备应用门槛
6.6 蒙太奇图像导航
6.7 Maps软件可自动智能成像，设置每个样品的分析条件（放大倍率、信号等），软件控制SEM进行图像采集，并可以将采集的图像进行拼接
7. 环境条件
7.1 电源电压：100-240V交流电（-6%，﹢10%），50或60Hz
7.2 功率：＜3.0kVA（裸机）
7.3 工作温度：（20±3）℃
7.4 相对湿度：≤80% RH
