上海尤谱光电科技有限公司
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PHEMOS-1000是一款高分辨率发射显微镜，通过检测半导体器件缺陷引起的微弱光发射和散热，确定半导体器件中的故障位置
PHEMOS-1000是一款高分辨率发射显微镜，通过检测半导体器件缺陷引起的微弱光发射和散热，确定半导体器件中的故障位置。 由于PHEMOS-1000可与通用探针组合使用，因此您可以使用您熟悉的样品设置来执行各种分析任务。 安装可选的激光扫描系统可以获取高分辨率的图案图像。 不同类型的检测器可用于各种分析技术，例如发射分析，热分析和IR-OBIRCH分析。 PHEMOS-1000支持各种任务和应用，从探针插座板到大尺寸300 mm晶圆探针。
产品特点：
- 可安装两个超高灵敏度摄像头：
用于发射分析和热分析或可见光和近红外光的不同检测波长范围的覆盖范围允许容易地选择与样品和失效模式 匹配的分析技术。
- 最多可安装3个波长的激光器和用于EOP的探头光源
- 适用于各种样品的光学平台
光学平台的工作范围
X +/- 20mm
Y +/- 20mm
Z +/- 75mm
*由于使用探针并干扰样品台或安装NanoLens，工作范围可能比此值窄。
产品配置可选：
● 激光扫描系统
● 高灵敏度近红外相机进行光发射分析
（根据客户样品特点对不同波长范围的光发射探测可以选配不同型号相机，InGaAs, C-CCD, Si-CCD, Emmi-X）
● 高灵敏度中红外Thermal相机进行热分析
● 激光诱导阻值变化分析（OBIRCH）
● D-lock in
● Thermal Lock in
● EOP/EOFM
● Tilt Stage
● Nano Lens 进行高分辨率、高灵敏度分析
● Navigation功能
● 连接测试机进行动态分析
● Laser Marker
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