| 主要规格 | 规格描述 |
| X射线激发系统 | 垂直上照式X射线光学系统 |
| 空冷式微聚焦型X射线管，Be窗 |
| 标准靶材：Rh靶；任选靶材：W、Mo、Ag等 |
| 功率：50W(4-50kV，0-1.0mA)－标准 75W(4-50kV，0-1.5mA)－任选 |
| 装备有安全防射线光闸 |
| 二次X射线滤光片：3个位置程控交换，多种材质、多种厚度的二次滤光片任选 |
| 准直器程控交换系统 | 最多可同时装配6种规格的准直器 |
| 多种规格尺寸准直器任选： －圆形，如4、6、8、12、20 mil等 －矩形，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等 |
| 测量斑点尺寸 | 在12.7mm聚焦距离时，最小测量斑点尺寸为：0.078 x 0.055 mm(使用0.025 x 0.05 mm准直器) |
| 在12.7mm聚焦距离时，测量斑点尺寸为：0.38 x 0.42 mm(使用0.3mm准直器) |
| 样品室 | CMI900 | CMI950 |
| －样品室结构 | 开槽式样品室 | 开闭式样品室 |
| －样品台尺寸 | 610mm x 610mm | 300mm x 300mm |
| －XY轴程控移动范围 | 标准：152.4 x 177.8mm 还有5种规格任选 | 300mm x 300mm |
| －Z轴程控移动高度 | 43.18mm | XYZ程控时，152.4mm XY轴手动时，269.2mm |
| －XYZ三轴控制方式 | 多种控制方式任选：XYZ三轴程序控制、XY轴手动控制和Z轴程序控制、XYZ三轴手动控制 |
| －样品观察系统 | 高分辨彩色CCD观察系统，标准放大倍数为30倍。50倍和100倍观察系统任选。 |
| 激光自动对焦功能 |
| 可变焦距控制功能和固定焦距控制功能 |
| 计算机系统配置 | IBM计算机 惠普或爱普生彩色喷墨打印机 |
| 分析应用软件 | 操作系统：Windows2000中文平台 分析软件包：SmartLink FP软件包 |
| －测厚范围 | 可测定厚度范围：取决于您的具体应用。 |
| －基本分析功能 | 采用基本参数法校正。牛津仪器将根据您的应用提供必要的校正用标准样品。 |
| 样品种类：镀层、涂层、薄膜、液体(镀液中的元素含量) |
| 可检测元素范围：Ti22 – U92 |
| | 可同时测定5层/15种元素/共存元素校正 |
| 贵金属检测，如Au karat评价 |
| | 材料和合金元素分析， |
| 材料鉴别和分类检测 |
| 液体样品分析，如镀液中的金属元素含量 |
| 多达4个样品的光谱同时显示和比较 |
| 元素光谱定性分析 |
| －调整和校正功能 | 系统自动调整和校正功能，自动消除系统漂移 |
| －测量自动化功能 | 鼠标激活测量模式：“Point and Shoot" |
| 多点自动测量模式：随机模式、线性模式、梯度模式、扫描模式、和重复测量模式 |
| 测量位置预览功能 |
| 激光对焦和自动对焦功能 |
| －样品台程控功能 | 设定测量点 |
| 连续多点测量 |
| 测量位置预览(图表显示) |
| －统计计算功能 | 平均值、标准偏差、相对标准偏差、值、最小值、数据变动范围、数据编号、CP、CPK、控制上限图、控制下限图 |
| 数据分组、X-bar/R图表、直方图 |
| 数据库存储功能 |
| 任选软件：统计报告编辑器允许用户自定义多媒体报告书 |
| －系统安全监测功能 | Z轴保护传感器 |
| 样品室门开闭传感器 |
| 操作系统多级密码操作系统：操作员、分析员、工程师 |
