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OLS5000 3D测量激光显微镜

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更新时间：2023-12-15 21:39:44浏览次数：42次

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上海蛮吉光电科技有限公司

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产品简介

LEXTOLS50003D测量激光显微镜配备的两套光学系统（彩色成像光学系统和激光共焦光学系统）让其能够获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像

详细介绍

LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜配备的两套光学系统（彩色成像光学系统和激光共焦光学系统）让其能够获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像。

LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜有4大关键价值：

捕捉任意表面形状
快速获得可靠数据
使用简单 - 只需放置样品并按一下按钮即可
测量具有挑战性的样品

价值1：捕捉任意表面形状。

OLS5000显微镜

OLS5000显微镜的技术使其能够进行高分辨率的3D样品测量。

价值2、快速获得可靠数据

快速获得可靠数据

该显微镜的扫描算法既可提高数据质量又可提高速度，从而缩短您的扫描时间，简化您的工作流程，终实现生产力的提升。

价值3、使用简单，只需放置样品并按一下按钮即可

OLS5000显微镜测量样品

LEXT® OLS5000显微镜具有自动数据采集功能，因而无需进行复杂的设置调整。甚至生疏的用户也可以获得准确的检测结果。

价值4、可测量具有挑战性的样品

低输出、非接触式无损激光测量意味着不需要样品制备。可以在不损坏易损性材料的情况下对其进行测量。扩展架可容纳高达210毫米的样品，而工作距离物镜能够测量深度可达25毫米的凹坑。在测量这两类样品时，您只需将样品放在载物台上即可。

[获取彩色信息]
彩色成像光学系统使用利用白光LED光源和CMOS相机获取彩色信息。
[获取3D 高度信息和高分辨率共焦图像]
激光共焦光学系统采用405纳米激光二极管光源和高灵敏度光电倍增管获得共焦图像。浅焦深使其能够用于测量样品的表面不规则性。

[405纳米激光光源]

光学显微镜的横向分辨率随着波长的减小而获得提升。采用短波长激光的激光显微镜相比采用可见光（峰值550纳米）的传统显微镜具有更优的横向分辨率。 OLS5000显微镜利用405纳米短波长激光二极管获得的横向分辨率。

[激光共焦光学系统]

激光共焦光学系统仅接收通过圆形针孔聚焦的光线，并非采集从样品上反射和散射的所有光线。这样有助于消除模糊，让其能够获得比普通显微镜对比度更高的图像

[X-Y扫描仪]

OLS5000显微镜配有奥林巴斯光学扫描仪。通过将采用电磁感应MEMS谐振扫描仪的X轴与采用Galvano扫描振镜的Y轴相结合，能够让X-Y扫描仪定位于相对物镜瞳镜共轭的位置，因而能够实现具有较低扫描轨迹失真和较小光学像差的X-Y扫描。

[高度测量原理]

在测量高度时，显微镜通过自动移动焦点位置获取多个共焦图像。
根据非连续的焦点位置（Z）和检测光强度（I）可以估算每个像素的光强变化曲线（I-Z曲线），并获得其峰值位置和峰值强度。由于所有像素的峰值位置与样品表面的不规则性相对应，因此可以获得样品表面的3D形状信息。与此类似，通过峰值强度数据可以获得针对样品表面所有位置焦点的图像（扩展图像）。

主机规格：

型号		OLS5000-SAF	OLS5000-SMF	OLS5000-LAF	OLS5000-EAF	OLS5000-EMF
总倍率		54x - 17,280x
视场直径		16 μm - 5,120 μm
测量原理	光学系统	反射式共焦激光扫描激光显微镜反射式共焦激光扫描激光-DIC 显微镜彩色彩色DIC
	光接收元件	激光：光电倍增管（2ch）色彩：CMOS 彩色相机
高度测量	显示分辨率	0.5 纳米
	动态范围	16 位
	可重复性 n-1 1 2 *6	20x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm
	精度 1 3 *6	测量值 +/- 1.5%
	拼接图像精度 1 4 *6	20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [μm])
	测量噪声（SQ 噪声）1 5 *6	1 纳米
宽度测量	显示分辨率	1 纳米
	可重复性 3 n-1 1 6	20x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm
	精度 1 3 *6	测量值 +/- 1.5%
	拼接图像精度 1 3 *6	20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [μm])
单次测量时测量点的数量		4096 x 4096 像素
测量点的数量		3600 万像素
XY 载物台配置	长度测量模块	•	无	无	•	无
	工作范围	100 x 100 mm 电动	100 x 100 mm 手动	300 x 300 mm 电动	100 x 100 mm 电动	100 x 100 mm 手动
样品高度		100 mm	30 mm	30 mm	210 mm	140 mm
激光光源	波长	405 nm
	输出	0.95 mW
	激光分类	2 类 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)
彩色光源		白光 LED
电气功率		240 W	240 W	278 W	240 W	240 W
质量	显微镜主体	约 31 公斤	约 30 公斤	约 50 公斤	约 43 公斤	约 39 公斤
	控制器	约 12 公斤