深圳市顺心科技有限公司
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KSI V400E是一款高产能声学显微镜，可以对塑封集成电路IC、IGBT大功率模组， 各型电容、以及铜基板器件进行无损检测，分析器件内部之分层、裂缝、空洞等 缺陷。 X轴和Y轴均是新型超高速线性伺服电机，磁悬浮结构，扫描速度快，比常规机器 要快30%以上同时经久耐用。 能对器件作多种扫描模式，如点扫描(A-)、纵剖扫描（B-）、横剖扫描（C-）、多 层横剖扫描(X-）等。
大扫描范围：400mm x 400mm；（常 规机器一般约是300mm x 300mm）
磁悬浮超高速机型，扫描速度：2米/秒； 扫描加速度：30米/秒2，KSI一台机器相 当于常规机器2台的工作量。(常规机器小 于1米/秒)
高扫描重复精度：+/-0.1微米（常规机器 只能做到0.5微米）
低噪防误判探头（常规机器没有， 无法在高速扫描时去除水花导致的误判）
1.电子和声学显微系统单元
⑴放大倍率：625倍
⑵探头频率：5MHz~400MHz可选
⑶探头焦距：2mm ~ 50mm 可选
⑷模数转换AD卡 1GHz
⑸声学信号激发和接收装置带宽：5MHZ ~ 555MHz
⑹图像显示器24英寸2个
⑺图像格式：BMP、JPG、sam原厂格式
⑻图像分辨率：3.2万像素 x 3.2万像素
2.机械扫描单元
⑴X/Y/Z轴驱动系统是直线磁悬浮电机
⑵X轴和Y轴的扫描速度：2000mm/s，加速度是30米/平方秒
⑶扫描范围：400mm x 400mm
⑷X轴和Y轴的精度：+/-0.1微米
⑸Z轴是自锁步进电机驱动
⑹Z轴调焦行程：100mm
⑺检件台：标准、托盘、真空吸附、定制等可选
⑻样品槽：580mm x 780mm x 110mm (W x D x H)
3.软件单元：
⑴主控软件：Ksi Vision
⑵扫描模式：A-、B-、C-、D-、G-、P-、Tray-、X-、Z-、3D-
⑶众多可选配置：透射模组/三维图像分析软件/滤波器等
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