CDG045D高精度真空计

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更新时间：2023-10-15 08:31:33浏览次数：81次

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武汉泰和丰顺光电有限公司

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产品简介

CDG045D高精度真空计 INFICON SKY CDG045D 压力计是实现高精确总压测量与控制的理想之选。CDG045D 真空计温度控制在 45 °C，具有的信号稳定性和可重复性。在 50 mTorr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的线性压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质，成本效益，适用于苛刻的真空应用。

详细介绍

益处

拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗
易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
诊断端口便于快速服务与维护
两年保修服务，*的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
的信号稳定性和可重复性，即使是最严苛的等离子应用，都无需长期执行重新校准
合规性和标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

蚀刻、CVD、PVD 及其他半导体生产过程
化学和腐蚀性真空过程
一般薄膜和真空过程
作为基准仪器监控测试仪器是否符合国际标准
符合传递标准，确保测量可追溯性

规格

类型		1000 Torr, 1100 mbar	500 ... 1 Torr / mbar	0.5 ... 0.05Torr / mbar
精度 (1)	% of reading	0.15	0.15	0.15
温度效应
零点	percent FS/°C	0.0025	0.0025	0.005
满量程	% of reading / °C	0.01	0.01	0.01
压力，	kPa (absolute)	400	260	130
分辨率	percent FS	0.003	0.003	0.003
读数	percent FS	0.01	0.01	0.01
建议的读数	percent FS	0.05	0.05	0.05
建议的控制压力	percent FS	0.5	0.5	0.5
温度
运行（环境）	°C	+10 … +40	+10 … +40	+10 … +40
在法兰处烘烤	°C	≤110	≤110	≤110
贮存	°C	–20 … +65	–20 … +65	–20 … +65
电源电压		+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)	+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)	+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗
加热时	W	≤12	≤12	≤12
运行温度	W	≤8	≤8	≤8
输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10	0 … +10	0 … +10
反应时间 (2)	ms	30	30	130 / 30 (3)
保护等级		IP 40	IP 40	IP 40
标准
CE 合规		EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 认证		UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI 合规