广州标旗光电科技发展股份有限公司
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PlasCalc等离子体监测控制仪，实现200nm-1100nm波段内的等离子体测量，通过高级过程控制系统及精密数据存取算法，只需3m就可以获得测量结果
PlasCalc等离子体监测控制仪，实现200nm-1100nm波段内的等离子体测量，通过高级过程控制系统及精密数据存取算法，只需
特点
Recipe编辑器
Recipe编辑器有助于简单快捷的配置、构建及存储实验方法。对一些困难的等离子体工序诸如膜沉积测量、等离子体蚀刻监测、表面洁度监测、等离子体室控制及异常污染、排放监测等，能够快速简单的构建模块过程控制。
多种工具用于等离子体诊断
随PlasCalc配置的操作软件，集成的程式编辑器能够容易实现多种数学算法功能。可选的波长发生器（可以单独购买）用于类型确认，而波长编辑器可以用于优化信噪比。双窗口界面用于显示实际光谱及所有过程控制信息。
PlasCalc 配置说明
| 光谱范围: | 200-1100 nm |
| 光学分辨率: | 1.0 nm (FWHM) |
| D/A 转换: | 14 bit |
| 数字I/O: | 8 x TTL |
| 模拟输出: | 4 x [0-10V] |
| 接口: | USB 1.1 |
| 功耗: | 12 VDC @ |
| 电源: | 90-240 VAC 50/60 Hz |
| 尺寸: | |
| 重量: | |
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