软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了的能量分辨率。 和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。
性能特点
产品规格
能量分辨率0.3eV（Al-L 光谱图73eV处测试）
获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区50-170eV
获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区70-210eV
分光谱仪艙安装位置：
EPMA的WDS接口：NO.2接口（正面右侧）
FE-SEM的WDS接口（正面左后侧）
分光谱仪尺寸 W 168mm×D 348mm ×H 683mm
* 从接口包括CCD的距离
分光谱仪重量 25kg
适用机型
EPMA ： JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200
SEM ： JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F
应用领域
电子探针可以对试样中微小区域（微米级）的化学组成进行定性或定量分析，可以进行点、线扫描（得到层成分分布信息）、面扫描分析（得到成分面分布图像）。还能全自动进行批量定量分析。由于电子探针技术具有操作迅速简便、实验结果的解释直截了当、分析过程不损坏样品、测量准确度较高等优点，在冶金、地质、电子材料、生物、医学、考古以及其它领域中得到日益**地应用，是矿物测试分析和样品成分分析的重要工具。
