广东洲上科技有限公司
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一般来说，HEPA高效过滤器装于超净工作台顶部。空气由风扇吸入先通过前置过滤器，再通过HEPA过滤器，并以均匀平行的方式流出，在工作台表面改变方向，流出工作台。
超净工作台的结构及如何空气净化说明
空气经过过滤的生产环境首先被航空航天工业使用。即使一个极其微小的缺陷都可造成卫星工作失误，因此，NASA（美国航空航天中心）和其服务商们建造了带有过滤天花板夹层和过滤墙体的车间。而且了许多基本的污染控制理念，其中包括从工作人员洁净服到洁净室使用物的管理方法。
半导体工业采用了许多这方面的技术。然而一个主要的问题是当从小加工车间扩建为有更多工人工作的大型车间后，很难保持其固有的洁净度。早期半导体工业把带过滤天花板夹层和墙体的方法演化为超净工作台法。这个主要是把过滤器装在单个工作台上，并使用无脱落的物质。在工作台以外，晶圆被装在密封的盒子中储存、运输。
在大型车间中按顺序排列的工作台（叫做工作层流罩）组成加工区，使晶圆依工艺次序经过而不从露于空气中。洁净工作罩中的过滤器是一种高效颗粒搜集过滤器（HEPA高效过滤器）。这些过滤器是由含许多小孔，并按手风琴琴叶折叠的脆性纤维组成，由于高密度的小孔与大面积的过滤层，使得大量的空气低速流过。由于低速空气可避免产生空气流，有利于工作台的洁净度，并且对于操作员而言，在舒适的环境中工作也是必要的。典型的空气流量6为每分钟90到100英寸。HEPA过滤器可达到99.99%或更高的过滤效率，并可用于三种净化方法中。
一般来说，HEPA高效过滤器装于超净工作台顶部。空气由风扇吸入先通过前置过滤器，再通过HEPA过滤器，并以均匀平行的方式流出，在工作台表面改变方向，流出工作台。安装档板可控制晶圆表面空气流动方向，通常这种方式称为空气层流立式式（VLF）工作台，它是由空气流的方向命名的。有些工作台把HEPA过滤器装于工作台后部，这种方式被称为空气层流平行（HLF）式工作台。
这两种工作台按两种方法来保持晶圆清洁：首先是工作台内的空气净化；其次，净化过程在工作台内产生一点空气正压，正压可防止由操作员与走廊产生的污染物进入工作台。
使用化学溶液的工艺需要对VLF式工作台进行特殊设计，这种工作台必须接有空气排风，以吸收化学溶液蒸汽，因为蒸汽会产生安全及污染的危险。在这种设计下，必须平衡VLF与排风中的空气流，来维持工作台的洁净级别数。而且还要求晶片需存放在工作台中相对较洁净的前部。
超净工作台的方法还可应用于现代晶圆加工设备中。在每台设备上安装VLF或HLF式工作台来保持晶圆在装卸过程中洁净。
超净工作台保养规程
1、应安放于卫生条件较好的地方，便于清洁，门窗能够密封以避免外界的污染空气对室内的影响。
2、安放位置应阔别有震动及噪音大的地方。
3、严禁安放在产生大尘粒及气流大的地方，以保证操纵区空气的正常活动。
4、接通超净工作台的电源，旋开风机开关，使风机开始正常运转，这时应检查高效过滤器出风面是否有风送出。
5、检查照明及紫外设备能否正常运行，如不能正常运行则通知工程部检验。
6、工作前必须对工作台四周环境及空气进行超净处理，认真进行清洁工作，并采用紫外线灭菌法进行灭菌处理。
7、净化工作区内严禁存放不必要的物品，以保持洁净气流活动不受干扰。
8、使用工作台时，先经过清洁液浸泡的纱布擦拭台面，然后用消毒剂擦拭消毒。
9、接通电源，提前50分钟打开紫外灯照射消毒，处理净化工作区内工作台表面积累的微生物，30分钟后，封闭紫外灯，开启送风机。
10、工作台面上，不要存放不必要的物品，以保持工作区内的洁净气流不受干扰。
11、操纵结束后，清理工作台面，收集各废弃物，封闭风机及照明开关，用清洁剂及消毒剂擦拭消毒。
12、最后开启工作台紫外灯，照射消毒30分钟后，封闭紫外灯，切断电源。
13、每仲春用风速计丈量一次工作区均匀风速，如发现不符合技术标准，应调节调压器手柄，改变风机输进电压，使工作台处于状况。
14、每月进行一次维护检查，并填写维护记录。
15、每次使用完毕，立即清洁仪器，悬挂标识，并填写仪器使用记录。
16、取样结束后，先用毛刷刷往洁净工作区的杂物和浮尘。
17、用细软布擦拭工作台表面污迹、污垢目测无清洁剂残留，用清洁布擦干。
18、要经常用纱布沾上酒精将紫外线杀菌灯表面擦干净，保持表面清洁,否则会影响杀菌能力。
19、效果评价：设备内外表面应该光亮整洁，没有污迹。
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