淄博森源电气有限公司
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FTM107-A膜厚监控仪 膜厚仪 在线膜厚检测仪
FTM107-A膜厚监控仪 一．FTM107-A膜厚监控仪应用范围： FTM107-A膜厚监控仪适用于普通蒸发、磁控溅射、离子镀等真空镀膜厚度测量，通过触摸屏和数码管显示，使您能获取完整的沉积数据，包括速率、厚度、镀膜曲线和镀膜时间。 FTM107-A膜厚监控仪采用的触摸屏技术，控制和显示均通过触摸屏实现；同时配有数码管显示实时速率和厚度，以适应习惯数码管显示的技术人员。到达设置厚度，自动关闭挡板或蒸发源。采用了更的软件和硬件设备，进一步提高了仪器抗干扰能力。 二、FTM107-A膜厚监控仪技术特点： 1.全触摸屏操作显示，简单易用； 2.显示薄膜厚度，可控制二个挡板/蒸发源； 3.监控镀膜层数达到99层； 4.提供RS232/RS485接口。 三、FTM107-A膜厚监控仪技术参数： FTM107-A监控仪 晶振频率 6MHz（可选2.5M 3M 5M 9M晶体) 显示方式 5"彩色触屏+数码管显示速率和实厚 操作方式 触摸屏 厚度范围 0-99μ9999Å 厚度显示分辨率 1Å 速率范围 0-999.9Å 速率显示分辨率 0.1Å/s 镀膜层数 99层 探头数量 4个 工具因子 0.01-99.99 材料存储 257+自定义10种 通 讯 RS232/RS485 挡板/源控制 2组触点，到达厚度关挡板/蒸发源 镀膜显示 速率曲线/数值 镀膜巡回次数 99次 机箱尺寸 480×280×89mm(2U 19"机箱) 四．特殊功能： （1）具有人工停止镀膜功能 （2）可显示镀膜层、材料和使用晶体振荡频率百分比 （3）显示镀膜结束后的监测实厚、材料和层次 
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