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LCL-5A 自动椭圆偏振测厚仪

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更新时间：2024-02-23 17:44:10浏览次数：46次

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产品简介

仪器简介：椭圆偏振光谱技术是近年来随着现代科技的发展而迅速发展起来的光学无损检测方法，在材料、信息、化学、物理、生命科学等领域具有广泛的应用前景

详细介绍

仪器简介：

椭圆偏振光谱技术是近年来随着现代科技的发展而迅速发展起来的光学无损检测方法，在材料、信息、化学、物理、生命科学等领域具有广泛的应用前景。它已越来越多的用于介电、半导体、金属、有机物等各种材料的光学特性、结构特征、生长过程和材料质量的快速测试与研究。仪器采用消光式椭圆偏振方式测量，精度高、自动控制，光源采用氦氖激光，波长精度高，仪器采用USB接口与电脑连接，配套软件对采样数据具有多种处理方式，适用于不同需要，软件有完整版及学生版两种版本，适于教学要求。

实验内容：

1、了解并熟悉仪器的工作原理和性能

2、掌握如何利用设备测试样品的方法

主要配置和参数：

序号	名称	规格和参数
1	测量范围	1nm-4000nm
2	测量最小值	≤1nm
3	镀膜折射率范围	1.300-10.000
4	入射角	40°-90°误差≤0.05°
5	偏振器方位角读数范围	0°-180°
6	偏振器步进角	0.0375°/步
7	测量精度	±0.5nm（10nm,±0.5nm）
8	光学中心高度	75mm
9	工作台直径	Φ10mm-Φ120mm
10	厚度	≤10mm