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LCL-4A 椭圆偏振测厚仪

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具体成交价以合同协议为准

产品型号

品       牌

厂商性质其他

所  在  地天津市

更新时间:2024-02-23 17:42:59浏览次数:21次

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经营模式:其他

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所在地区:

产品简介

仪器简介:手动椭圆偏振测厚仪使用消光法测量薄膜厚度和折射率;手动调节测试过程中的起偏和检偏角度

详细介绍




仪器简介:

    手动椭圆偏振测厚仪使用消光法测量薄膜厚度和折射率;手动调节测试过程中的起偏和检偏角度。椭圆偏振法广泛地应用于固体基片上介质薄膜的测量。在己有测定薄膜厚度的方法中,它是能测量到和精度的一类。



实验内容:

1、了解并熟悉仪器的工作原理和性能

2、掌握如何利用设备测试样品的方法



主要配置和参数:

序号

名称

规格和参数

1

测量范围

1nm-300nm

2

测量最小值

≤1nm

3

入射角

30°-90°误差≤0.1°

4

偏振器方位角读数范围

0°-180°

5

度盘刻度

每格2度

6

游标最小读数

0.05°

7

光学中心高度

152mm

8

工作台直径

Φ70mm

9

外形尺寸

730mm*230mm*290mm

10

主机重量

20kg







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