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LCL-13 薄膜测厚仪

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更新时间：2024-02-23 17:38:31浏览次数：21次

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产品简介

仪器简介：LCL-13型薄膜测厚仪根据多次反射光谱相干原理，本仪器可提供非接触测量薄膜厚度，折射率，吸收系数等；采用软件版本，具有纳米级精确测量和方便使用等优点；测量方便度和准确度远好于常用光学椭偏仪

详细介绍

仪器简介：

LCL-13型薄膜测厚仪根据多次反射光谱相干原理，本仪器可提供非接触测量薄膜厚度，折射率，吸收系数等；采用软件版本，具有纳米级精确测量和方便使用等优点；测量方便度和准确度远好于常用光学椭偏仪。是薄膜研究，光学镀膜，和半导体生产的测量研究仪器。

实验内容：

1、学会薄膜和涂层的厚度测量及折射率和吸收系数的测定

主要配置和参数：

序号	名称	规格和参数
1	厚度范围	20nm-50um(只测膜厚），100nm-10um(同时测量膜厚和光学常数n,k）根据薄膜材料的种类，其范围有所不同
2	准确度	<1nm或<0.5%
3	重复性	0.1nm
4	波长范围	380nm-1000nm
5	可测层数	1-4层
6	样品尺寸	样品镀膜区直径>1.2mm
7	测量速度	5s-60s
8	光斑直径	1.2mm-10mm可调
9	样品台	*290mm160mm**
10	光源	长寿命溴钨灯（2000h）
11	光纤	纯石英宽光谱光纤
12	探测器	进口光纤光谱仪
13	电源	AC100V-240V,50Hz-60Hz
14	重量	18kg
15	尺寸	*300mm300mm350mm*