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NSC-3000 (A) 全自动磁控溅射系统

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更新时间：2024-02-19 17:54:17浏览次数：27次

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产品简介

NSC-3000（A）全自动磁控溅射系统概述：带有水冷或者加热(可加热到700度)功能，到6旋转平台，可支持到3个偏轴平面磁控管。

详细介绍

NSC-3000（A）全自动磁控溅射系统概述：带有水冷或者加热(可加热到700度)功能，到6"旋转平台，可支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵，极限真空可达10-7 Torr，15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离，可以获得想要的均匀度和沉积速度。

NSC-3000（A）带有14"立方形铝质腔体，3个2"的磁控管，DC直流和RF射频电源。在选配方面，我们提供不锈钢腔体，260 l/s涡轮分子泵，额外的磁控管和衬底加热功能。

NSC-3000（A）全自动磁控溅射系统产品特点：