长沙艾克赛普仪器设备有限公司
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捷欧路JEOL JEM-3200FS 场发射透射电子显微镜配备了加速电压为300kV的场发射电子枪（FEG）和镜筒内置式型能量过滤器，能为广泛的研究领域提供各种全新的解决方案。捷欧路JEOL JEM-3200FS 场发射透射电子显微镜镜筒内置式型能量过滤器内置于成像透镜系统，能容易...
| 物镜极靴*1 | 超高分辨UHR | 高分辨率HR | 高倾斜HT | 高衬度HC |
| 分辨率 | ||||
| 点分辨率 晶格分辨率 | 0.17nm 0.1nm | 0.19nm 0.1nm | 0.21nm 0.1nm | 0.26nm 0.14nm |
| 能量分辨率 | 0.9 eV（零损失FWHM） | |||
| 加速电压 | 300kV，200kV,100kV*2 | |||
| 最小步长 能量位移 | 100V 3,000V (以0.2V为步长) | |||
| 电子枪 | ||||
| 发射体 | ZrO/W(100) 肖特基式 | |||
| 亮度 | ≧7×108 A/cm2 ・ sr | |||
| 真空度 | 3×10-8Pa | |||
| 探针电流 | 探针直径为1nm时，电流在0.5nA以上 | |||
| 稳定度 | ||||
| 加速电压 | 2×10-6/min | |||
| 物镜电流 | 1×10-6/min | |||
| 过滤器透镜电流 | 1×10-6/min | |||
| 物镜 | ||||
| 焦距 | 2.7 mm | 3.0 mm | 3.5 mm | 3.9 mm |
| 球差系数 | 0.6 mm | 1.1 mm | 1.4 mm | 3.2 mm |
| 色差系数 | 1.5 mm | 1.8 mm | 2.2 mm | 3.0 mm |
| 最小焦距步长 | 1.0 nm | 1.4 nm | 1.5 nm | 4.1 nm |
| 束斑尺寸 | ||||
| TEM 模式 | 2 ～ 5 nmφ | 2 ～ 5 nmφ | 7 ～ 30 nmφ | |
| EDS 模式 | 0.4 ～ 1.6 nmφ | 0.5 ～ 2.4 nmφ | 4 ～ 20 nmφ | |
| NBD 模式 | 0.4 ～ 1.6 nmφ | 0.5 ～ 2.4 nmφ | - | |
| CBD 模式 | 0.4 ～ 1.6 nmφ | 0.5 ～ 2.4 nmφ | - | |
| 电子束衍射 | ||||
| 衍射角(2α) | 1.5 t～ 20 mrad | - | ||
| 取出角 | ±10 ° | - | ||
| 倍率 | ||||
| MAG 模式 | ×2,500 ～ 1,500,000 | ×2,000 ～ 1,200,000 | ×1,500 ～ 1,200,000 | |
| LOW MAG 模式 | ×100 ～ 3,000 | |||
| SA MAG 模式 | ×8,000 ～ 600,000 | ×6,000 ～ 500,000 | ×5,000 ～ 500,000 | |
| 视野 | 10eV时狭缝宽度60mm(底片上) 2eV时狭缝宽度25mm(底片上) | |||
| 相机长度 | ||||
| 选区电子衍射 | 200 ～ 2,000 mm | 250 ～ 2,500 mm | 400 ～ 3,000 mm | |
| EELS 散射 | ||||
| 能量选择 在能量选择狭缝上 | 0.85 μm/eV , 300 kV | |||
| 底片上 | 100 ～ 220 μm/eV , 300kV | |||
| 样品室 | ||||
| 样品移动范围 (XY/Z) | 2mm/0.2mm | 2mm/0.4mm | 2mm/0.4mm | 2mm/0.4mm |
| 样品倾斜角 (X/Y) | ±25°/±25°*3 | ±35°/±30°*3 | ±42°/±30°*3 | ±38°/±30°*3 |
| EDS*4 | ||||
| 固体角 | 0.13 sr | 0.09 sr | ||
| 取出角 | 25° | 20° | ||
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