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前载式双探头

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产品型号SPS -540-G1+ 750-707-G1

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厂商性质其他

所在地深圳市

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更新时间：2024-03-07 18:50:46浏览次数：32次

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产品简介

前载式双探头

详细介绍

INFICON前载式双探头提供验证的可靠性和持久性，与市场上任何探头探头相比，

具有热稳定性。双探头提供备份晶体，在真空室内需要第二个晶体的关键

过程中是至关重要的。

规格配置

对于从侧面插入无足够空间的应用，前载式结构易于插入晶体架。采用机械装配

代替焊接，必要时可现场方便地更换部件。探头可单个订购或订购探头/法兰组合

可选焊接的或直口接头装配的结构。

探头配置
前载式双探头的标准配置中水管与晶片平行。当晶体监测沉积速率时，气动

晶体挡板保护备份晶体。挡板是下拉式结构,

便于更换晶体。为有效地消除RF干扰，暴露的晶体电极是全部接地的。

法兰
INFICON 提供两种法兰，1" 螺纹法兰或 2¾" (CF40) ConFlat® 法兰。按用

户要求可提供 KF40 法兰。

法兰连接
前载式双探头可订购与法兰的组合。探头/ 法兰连接可采用直口接头或焊接 ( 当与

1" 螺纹法兰组合时) 。如需焊接连接，必须在订购前填写INFICON 提供的一个探

头长度规格表。直口接头易调整，无钎焊或焊接的要求。法兰可沿着管长移动，对

于 "E" 长度探头, 在真空系统内的长度可在 20.3 厘米至 71.1 厘米 (8"- 28") 的范

围内调整，对于 "G" 长度探头，一旦确定所需长度，直口接头可用手指拧紧管密封件。

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