深圳市利方达科技有限公司
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美国keyhigh PEV-1压电阀（PEV-1 PIEZOELECTRIC G...
PEV-1 压电阀主要技术特点：
1、控制模式：开环控制和闭环控制
2、易于集成：可与国产自动压强控制仪配套使用，来实现闭环控制，达到稳定压强的目的，
同时亦可选择进口压强控制仪
3、响应时间快
4、性能稳定，压电陶瓷片寿命长
6、无机械连接件，无伺服马达，无磨损，在断电的情况下可实现自动关闭的特点
PEV-1压电阀技术参数：
阀门类型： 压电晶体
可控制的气体： 兼容各种材料
流量范围： 0？500 SCCM
漏率： <1x10？9 scc/sec（1ATM HE
ON INLET）
响应时间： 2微秒
进气压力： 50 PSI
驱动要求：电压： 0？100 VDC，电流：<10μA
操作温度范围： ＋10°C to＋60°C
材料： 316不绣刚，氟橡胶，特富龙，
陶瓷片
进气和出气连接： 1/4"Swagelok Fittings
电气连接： 标准BNC
重量： 800克
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