班奈自动化仪表（上海）有限公司
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美国Setra760高精度真空计
▲适用于与Inconel® 或 Inconel/ 不锈钢相容的气体
▲压力范围：0~10 Torr 至0~1000Torr，0~10 mbar/hpa 至0~1000mbar/hpa，0~2 psia 至0~20psia，0~2 kpa 至0~100kpa
介绍
Setra Model 760 电容压力计是为精确的、可重复的真空测量而设计的压力传感器。满量程范围从10Torr 到1000Torr。测量单位可以是Torr，mbar/hpa，kpa 或psia。Model 760 的工作电压是15VDC，输出0~10VDC 或0~5VDC，输出与压力成线性关系，而且与气体成分无关。电气连接件可以是工业标准15 针D 型插座或6 位接线端子板。采用金属外壳、巨涌和ESD 抑制元件以及输入输出的RFI 过滤等技术，Model 760 具有的EMI/RFI 性能。Model 760 有一个完整的滑面，很容易提供有精确的零点调节和量程调节的多匝电位计。Inconel® 材质适用于全部湿原料所以可测量腐蚀性气体，另外可提供不同类型的压力和真空接头。Model 760 中高精度的压力传感元件VactronSensor，是在Setra 技术可变电容传感技术基础上发展来的。在敏感元件有一个馈入装置组件支持一个邻近膜片后表面的圆电极。电极和膜片在一个低压接近真空的空间内组成了一个可变电容。这一电容的变化被Setra 的集成电路检测并被转换成高精度的线性直流信号，该集成电路是根据西特技术负荷平衡原理设计的。Model 760 采用革新的传感设计获得了的零点稳定性和大气压非敏感性。Model 760 传感器包含了不易脆的或合成的部件，形成了与陶瓷式结构相似的电容式压力计。
注：Setra 坚持严格的质量标准ANSI-Z540-1。此产品的标定源于NIST。
应用
● 半导体过程工具和装置
● 实验室和研究开发
● 实验和测量
● 度量
● 分析化学系统
特点
■ 的热稳定性
■ 出众的EMI/RFI 性能
■ 低价位
■ 小巧紧凑的结构
■ 耐腐蚀的Inconel® 湿部件
■ 多种压力连接和电气连接方式
■ 符合CE 标准
性能参数 物理参数 电气电压(电压) 精度A ±0.25%of Reading 壳体 铝合金 电路 4线 精度B ±0.15%of Reading 电气连接 15针D型插座或 6位螺纹接线端子 激励 ±15VDC,调整范围5% 输出2 0～10VDC或0～5VDC 温度影响 压力接头 见订购信息 功耗 ﹤0.5w(﹤15mA) 补偿范围 0～+50℃(+32～+122℉) 腔体体积 ﹤6cm3 零点偏移 ±0.005%FS/℃ 零点/满量程调节 多匝点位计 (在画面底部) 压力介质 与Inconel或InconeV不锈钢相容的气体。Inconel湿部件仅配0.5管的节头,选择其他的 接头增加不锈钢. 满程偏移 ±0.02 重量 260克(约9盎司) 分辨率 无限的,仅受输出噪声的限制(0.01%FS) 环境参数 温度 1. 工作温度的限制仅对电子元件而言,压力介质温度可以更高或更低. 2. 采用50K的负载进行标定,可接10000或更大的负载。 耐压 45psia 工作温度1 0～+50℃ 时间常数 ﹤20ms 储存温度 -50～+125℃
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