江苏弗里森流体工程技术有限公司
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住友臭氧发生器仪器住友的臭氧发生器采用平板式放电电池，通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成，以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/（n），是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。住友臭氧发生器仪器
住友臭氧发生器仪器 住友臭氧发生器仪器 应用： 1. 半导体器件 2. Si/复合晶圆 3. FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED） 4. 光罩 5. 发光二极管 具体规格 臭氧气体流速 1L/min to 24L/min 臭氧气体供应压力 *大0.15MPa 冷却水温度 20°C±2°C 尺寸 W483mm x D453mm x H266mm 重量 30 to 45kg 功率 200-220VAC, 3-phase
住友的臭氧发生器采用平板式放电电池，通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成，以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/（n），是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。
[at 210g/m3(N)]
住友臭氧发生器仪器优势：
高浓度；高达400g/m3（N），不含氮掺杂
19英寸机架尺寸标准型号
丰富的产品线；小容量到大容量
高压耐受，长寿命放电单元
快速启动，快速响应
与臭氧监测仪（闭环控制）集成的稳定浓度
CE、NRTL、半标准适用
管道材料；从316LSS或P中选择
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