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Diener 等离子清洗机 FEMTO

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更新时间：2023-08-28 14:28:49浏览次数：80次

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上海尔迪仪器科技有限公司

经营模式：其他

商铺产品：47条

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产品简介

技术应用链接:特点：低压等离子系统

详细介绍

技术应用链接:

· 低压等离子系统，用于不同材料表面的处理

· 配置自动/手动模式，实现控制高机能

· 经济型等离子清洗机，小型腔体

· 适合于研究院、高校、研发中心使用

· 操作简单易使用

型号		FEMTO		FEMTO PCCE
控制系统		手动控制		PCCE 控制系统
工艺气路		双路或三路气体
工艺气体		O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等非腐蚀性气体或者CF4 、SF6等腐蚀性气体
单体导入		H2O，亲疏水涂层等单体（选配）
流量计		针阀流量计（防腐蚀）		MFC流量计（防腐蚀）
真空腔体	材质	高硼硅玻璃/石英盖子门/铰链门带观察窗	不锈钢盖子门/铰链门带观察窗		铝合金铰链门带观察窗
	圆形腔体内尺寸(Φ×D)mm	95×280( 600)	100×278( 600)		—
	方形腔体内尺寸（W×D×H）mm	—	103×285( 600)×103 mm		110×300( 600) ×120
	容积	2 L~4.2L	2.2L~6.4L		4L~8L
电极		360度外置环绕电极	平行平板电极
发生器*		40KHz 0~100 W 100KHz 0-500W 13.56MHz 0~50 W 或者0~300 W 2.45GHz 0-300W
真空压力计		指针式压力计		皮拉尼数字式压力计
计时器		模拟数字式		数字式
托盘		高硼硅玻璃/石英，不锈钢
外形尺寸（WXDxH）mm		310-560x420-600x330-860mm
电源		AC220V 50Hz 10A
真空泵		排气速度不小于4m3/H