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小型等离子清洗机

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产品型号PCE-6

品牌

厂商性质其他

所在地杭州市

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更新时间：2023-08-23 16:43:41浏览次数：325次

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产品简介

简要描述：科晶公司 PCE-6小型等离子清洗机。

详细介绍

产品详细介绍：

PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Ø160mm×190mm的石英腔体，采用的射频电源功率3.0MHz（ 1%），输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

主要特点：

1、通过控制面板的按键及开关，可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间。

2、时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上。

3、设有一个三通阀，可精确控制进气流量，以及大气流清洗腔体，进气接口为6mm卡套接口。

4、选用大功率射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验。

技术参数：

1、电源：AC220V 50/60Hz

2、输出功率：7.2W、10.2W、29.6W

3、真空泵功率：<500W

4、总功率：<600W

5、射频频率：3.0MHz，功率3档可手动调节

6、等离子腔体：高纯石英腔体，Ø160mm×190mm，采用铝制折叠式法兰进行密封，法兰上设有Ø45mm 的观察窗