鲜明的SEM图像上进行高精度测量
从极低倍到高倍,在图像上就可以直接进行长度和角度测量,即在鲜明的图像上进行高精度测量。保存后的图像也可以用SMile View软件(选购件)打开并进行测s。
3D观察-测量(选购)
利用扫描电子显微镜焦深大的特点,可以进行立体的高度测量。同一个视野,倾斜角度改变10°左右,获得两张图像,进行高度测s。
不仅可以观察图像,还可以进行成分分析
不仅可以利用二次电子信息进行样品表面观察,还可以利用背散射电子成份衬度像进行异物及多层膜观s。另外,还可以使用能量分散型光谱仪(EDS)进行元素分析。日本电子产能谱仪JED-2300可以与主机实现一体化,将点镜扩展为分析型点镜。